驰奔DESK-V小型离子溅射仪

DESK-V TSC型小型离子溅射仪，采用磁控溅射方式，广泛用场发射扫描电镜或透射电镜样品制备或高质量镀膜试验。采用ZL的阳极保护栅网，实现镀膜过程中样品表面保持常温状态，没有热损伤。该溅射仪具有样品等离子清洗刻蚀功能，可选配蒸碳附件。

主要功能：

1、离子溅射镀膜

2、样品等离子刻蚀清洗

3、蒸碳镀膜

主要特点：

主要特点：

1、大的溅射样品室，获得更稳定的真空环境，镀膜质量更高。

2、对样品无热损伤的冷溅射。

3、样品等离子刻蚀功能，一个手动控制挡板降低样片在刻蚀过程中受到的污染。

4、基于PLC的强大控制系统，全部触摸屏操作，可手动、半自动控制、全自动控制。

5、具有高压真空互锁安全机制

6、标准的操作软件，实时监控各部件状态，方便技术支持，节约用户费用。

性能指标：

标准配置

样品室: φ150mm X 150mm(H) 耐热玻璃真空室

靶: 金GOLD或金钯合金GOLD/PALLADIUM（随机）φ50mmX0.1mm

样品台: φ50mm 旋转样品台

溅射电流: 0-100mA

真空规: 皮拉尼

溅射气体: 空气或氩气

真空泵: 85L/Min 机械泵

选配

膜厚监控: 石英晶体膜厚监控器

样品台: φ75mm 旋转样品台

φ100mm旋转样品台（选此台，膜厚监控器无法安装）

旋转倾斜样品台 （选择此台，无法实现样品刻蚀功能）

蒸碳附件: 碳棒或碳丝绳