Hitachi Q150R Plus 系列高真空离子溅射镀膜仪

Q150R PLUS 系列全自动真空镀膜仪

Q150R Plus适用于钨灯丝/LaB6/部分场发射和台式SEM。

通过Q150R E＆ES Plus碳绳镀膜可用于元素分析，Q150R S＆ES Plus可用贵金属靶材溅射镀膜。

推荐放大倍数：

◆Au、Au/Pd可达5万倍

◆Pt（可选）可达10万倍

推荐应用：

◆中低倍放大倍数观察

增强二次电子信号（1nm或更小）

◆台式SEM镀膜

◆元素分析（EDS）

◆敷铜层研究

Q150R Plus 功能特点：

1）全新升级的用户界面：

电容式触摸屏，灵敏度高，更易触控使用

用户界面软件全面更新，使用现代智能技术界面

全面的文字帮助页面

USB接口可轻松进行软件更新和数据备份

 log文件格式为.csv，内含日期、时间和工作参数，导出后可在Excel或类似软件中分析

16GB的闪存可储存超过1000条镀膜方案

双核ARM处理器，可实现快速响应的显示

2）允许多用户输入和储存镀膜方案，并根据近期的使用来排列每个用户的方案。

3）智能逻辑系统自动识别插入头，并显示相应的操作设置和控制。

4）系统提示用户确认靶材，然后自动为该材料选择合适参数。

5）直观方便的软件，即使新手也能快速输入和存储其处理参数，创建自己的镀膜程序，且系统已存储典型的溅射和镀碳程序可供直接调用。

6）如果软件检测到在一段时间内无法达到设定真空度，系统会终止程序，以防真空泵过热。

7）可互换的插入头：允许用户将系统配置为溅射镀膜仪、蒸镀仪或辉光放电系统 - 所有这些系统都可集成在一个设备中，节省空间。可选碳绳蒸发。可自动检测识别插入头类型。

8）可拆卸腔室，设有防爆罩：可拆卸玻璃腔室，易清洁底座和顶板。如需要，用户可快速更换腔室以避免敏感样品交叉污染。高腔室选项可用于碳蒸发，避免样品过热；提高溅射的均匀性和承载较高尺寸的样品。

9）多种样品台可选：Q150R Plus具有可满足大多数要求的样品台。所有样品台都是插入式（无螺丝），易于更换。

10）安全性：Q150R Plus符合行业CE标准

Q150R Plus系列镀膜仪具有三种型号：

1）Q150R S Plus全自动溅射镀膜仪，可溅射不氧化金属。可溅射的靶材包括金、金/钯合金和铂。

2）Q150R E Plus全自动碳绳蒸镀仪，适合SEM领域的EDS和WDS应用。

3）Q150R ES Plus集成了离子溅射和碳蒸镀两种方式的全自动镀膜系统。镀膜头可在数秒内更换。

Q150R Plus是Quorum Technologies出品的国际认可的Q系列镀膜仪的一部分，数千家客户使用此类镀膜仪。Q系列旨在为SEM、TEM和薄膜应用提供高质量的镀膜解决方案，Q系列功能多样、价格合理且易于使用。

Q150R Plus主要操作参数：

离子溅射：溅射电流范围宽，至预设厚度（需选用FTM）终止或定时终止。超长的可设溅射时间，无需破真空，自动内置冷却占空比。

蒸镀：稳定的无杂波直流电源控制的脉冲蒸发，确保碳绳蒸镀的重复性。脉冲蒸发电流范围宽。

可视化状态指示：

大而多色的LED指示灯，使用户在一定距离就可轻松识别过程状态。

指示灯可显示以下状态：

◆ 初始化中 ◆ 程序运行

◆ 空闲状态 ◆ 正在镀膜

◆ 程序完成 ◆ 故障停机状态

程序完成后音频声音提示