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瑞奇精密 RQC-2S 全自动磁控离子溅射仪
- 品牌：瑞奇精密
- 型号： RQC-2S
- 产地：深圳
- 供应商报价： ¥ 80000
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上海爱仪通网络科技有限公司
更新时间：2024-04-24 09:18:01 -
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- 详细介绍
RQC-2S全自动磁控离子溅射仪
低气压下气体的辉光放电现象:Ø 靶材后有永磁铁
Ø 靶材上施加电压为-400 ~ -600V，样品台接地
Ø 绝大部分电子和负离子在电场和磁场的共同作用下，做螺旋线运动，
单个电子电离的气体分子大大多于直流，因此，在较好的真空、较 低的电压下即可获得较大的电流;
Ø 在磁场在作用下，绝大部分电子和部分负离子落在靶材附近，无法 到达样品台，对样品基本没有热损伤
工作特点: 溅射电流与压力无关、基本没有热损伤
应用领域: 适用于所有样品，尤其是温度敏感性样品、如生物、聚合物等样品
工作时真空度好，镀膜的颗粒度更小，更适用场发射等高分辨观测 电极制备
