瑞奇精密 RQC-1S 离子溅射仪

RQC-1S 离子溅射仪详细参数

1. 采用单片机作为处理器，具有自主知识产权，扩展性好;

2. 5 英寸触摸操作液晶显示屏，分辨率为 800×480，全数字显示。

   2.1 可设定:(1)溅射电流;(2)溅射时间;(3)屏幕亮度等参数;
   2.2 可显示:(1)溅射电流;(2)溅射剩余时间;(3)工作真空度;(4)靶材累 计使用时间;(5)设备累计使用时间等参数。

3. 溅射电流:3-30mA 连续可调，最小步长为 1mA;

4. 溅射时长:1-999s 连续可调，最小步长为 1s;

5. 工作真空:实时显示当前工作真空度，精度为 0.1Pa

6. 溅射靶材:标配为高纯金靶(纯度 4N9)，规格为φ57×0.12mm;

7. 真空室:采用高透光性的高硅硼玻璃，尺寸约为φ125×125mm;

8. 样品杯:可容纳最大样品杯尺寸为φ90mm;

9. 设定溅射电流后，系统可自动调整至设定值，无需其它操作;

10.具备溅射电流和真空度双重互锁，安全可靠，任一条件触发，系统即可停止工作，

防止因为误操作导致设备损坏;
11.极限真空优于 1Pa，真空泵抽速 1L/s;

 12.具备实时曲线显示溅射电流和真空度功能非常方便用户了解系统工作状态; 

13.采用独特的靶材更换结构，无需任何工具，即可实现快速更换靶材; 

14.操作软件:内置操作向导，便于操作人员快速熟悉设备，在人员更替时无需厂家

培训即可熟练操作仪器。