Hitachi Q150V Plus 高真空离子溅射仪

QI 50V PLUS系列全自动超精细镀膜仪

QI 50V Plus是一款高真空应用的超精细镀膜设备，其极限真空度为lxl0-6mbar。结合使用宽量程潘宁规和皮拉尼

规，可以溅射具有超细成膜颗粒尺寸的易氧化金属，适用于高分辨率成像。更低的背底负压去除了腔室中的氧氮和水

汽，避免在溅射过程中发生化学反应以及在镀膜过程中产生的杂质或缺陷。同样地，较低的散射可得到高纯而致密的

无定形碳膜。Q150VPIus除具有Q150TPIus的所有优点外，还可获得更细成膜颗粒尺寸和更薄的膜，适用于超高

分辨率应用（放大倍数高于200,000倍）。

使用QI 50V E&ES Plus进行碳棒蒸镀；使用QI 50V S & ES Plus溅射贵金属和易氧化金属，适合SEM应用。

推荐放大倍数：

up to x 50k using Au镀金可达5万倍

up to x 100k using Pt镀柏可达10万倍

above x 100k using Cr, lr镀铭、钵可达1。万倍以上

非常适合薄膜应用，例如镀ITO, W, Al, Zn

推荐应用：

超高分辨率放大SEM应用

TEM载网镀碳

F旧保护性销层

腐蚀，摩擦和磨损保护层的研发

医疗设备上的保护层

BSE成像

EDX, WDS, EBSD 分析

碳复型膜

纳米技术，如：沸石，聚合物纳米刷

Q150V Plus功能特点：

1） 全新升级的用户界面：电容式触摸屏灵敏度高，更易触控使用

       用户界面软件已广泛更新，使用现代智能手机界面技术

       上下文相关的全面帮助页面

       USB接口可轻松进行软件更新，也可将镀膜程序文件备份/复制到U盘

      log文件可通过USB端口导出，文件格式为.csv,便于在Exce或类似软件中分析，

      log文件包括日期、时间和工作参数。

      16GB的闪存可储存超过1000条镀膜程序；双核ARM处理器，可实现快速响应的显示。

2） 允许多用户输入和储存镀膜参数程序，新功能可根据近期的使用情况来排列每个用户的程序。

3） 智能逻辑系统自动识别插入头.并显示相应的操作设置和控制1c

4） 系统提示用户确认靶材，然后自动为该材料选择适当的参数。

5） 直观的软件允许生手或偶用者快速输入和存储其处理参数。为方便起见，系统已存储一些典型的溅射和镀碳程

序，也允许用户创建自己的操作程序。

6） 如果软件检测到在一段时间内无法达到一定真空，在真空泄漏的情况下会终止程序，以防真空泵过热。

7） 可互换的镀膜插入头：允许用户将系统配置为溅射镀膜仪、蒸发或辉光放电系统-所有这些都是在一台设备中，

       节省空间。碳绳可选碳绳蒸发。更换插件时自动检测镀膜插头类型。

8） 可拆卸腔室，设有防爆罩：可拆卸式玻璃腔室，容易清洁底座和顶板。如有必要，用户可以快速更换腔室，以避

       免敏感样品的交叉污染。高腔室选项可用于碳蒸发，避免样品过热，提高溅射的均匀性和承载较高尺寸的样品。

9） 多种样品台可选：Q150V Plus具有可满足大多数要求的样品台。所有样品台都易于更换、插入式（无螺丝）和

        高度可调（旋转行星级除外）。

10）  QI 50V Plus符合行业CE标准

11） 具有"适合TEM应用的全自动、厚度可控的碳棒精细蒸发"、"磁控冷溅射”、“脉冲清洁用于溅射AI”等独特

技术。

Q150V Plus具有三种型号：

1）  Q150VS Plus全自动溅射镀膜仪，可溅射易氧化金属，实现超精细镀膜，可溅射的靶材包括珞、钵和所有贵金

        属。

2）  Q150VEPIUS全自动蒸发镀碳仪（碳棒、碳绳），适合TEM应用，用于TEM栅网镀碳。

3）  Q150VES Plus是集成了离子溅射和热蒸镀两种镀膜方式的一体化镀膜系统，镀膜头可在数秒内更换，可选金属

       蒸发/光阑清洁。

QI 50V Plus是Quorum Technologies出品的国际认可的Q系列镀膜仪的一部分，数千家客户使用此类镀膜仪。

Q系列旨在为SEM、TEM和薄膜应用提供高质量的镀膜解决方案，Q系列功能多样、价格合理且易于使用。

主要操作性能：

1） 离子溅射：溅射电流可设范围宽，至预设厚度（需选用FTM） 终止或定时终止。可设溅射时间宽，无需破真空，

自动内置冷却占空比。

2） 蒸镀：可用碳棒（可选碳绳）蒸镀碳膜；选用铝篮或钥舟进行金属热蒸发；选用标准铝舟清洁TEM光阑

3） 可视化状态指示

大而多色的LED指示灯，使用户在一定距离就可轻松识别过程状态。指示灯可显示以下状态：

♦初始化中♦程序运行

♦空闲状态♦正在镀膜

♦程序完成

♦故障停机状态

程序完成后音频声音提示。