离子束刻蚀系统
也称为离子铣,是指当定向高能离子向固体靶撞击时,能量从入射离子转移到固体表面原子上,如果固体表面原子间结合能低于入射离子能量时,固体表面原子就会被移开或从表面上被除掉。通常离子束刻蚀所用的离子来自惰性气体。离子束最小直径约10nm。目前聚焦离子束刻蚀的束斑可达100nm以下,最少的达到10nm,获得最小线宽12nm的加工结果。
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离子束刻蚀系统产品列表
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- 品牌:美国Nano-Master
- 型号:NIE-4000,NIE-3500,NIR-4000,
- 产地:美洲 美国
供应商:深圳市蓝星宇电子科技有限公司
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- 品牌:美国Nano-Master
- 型号:NIE-4000,NIE-3500,NIR-4000
- 产地:美洲 美国
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- 品牌:美国Nano-Master
- 型号:NIE-4000
- 产地:美洲 美国
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- 品牌:美国Nano-Master
- 型号:NIE-4000,NIR-4000 IBE/RIE
- 产地:美洲 美国
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- 品牌:牛津仪器
- 型号:Ionfab 300 IBE
- 产地:欧洲 英国
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- 品牌:美国Nano-Master
- 型号:NOC-4000
- 产地:美洲 美国
供应商:深圳市蓝星宇电子科技有限公司
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- 品牌:美国那诺-马斯特
- 型号:NIE-3500(A)
- 产地:美洲 美国
供应商:那诺—马斯特中国有限公司
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- 品牌:美国那诺-马斯特
- 型号:NIE-4000(M)
- 产地:美洲 美国
供应商:那诺—马斯特中国有限公司
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- 品牌:日本ELIONIX
- 型号: EIS-200
- 产地:亚洲 日本
供应商:深圳市科时达电子科技有限公司
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- 品牌:北京华测
- 型号:ADVANCED
- 产地:美洲 美国
供应商:北京华测试验仪器有限公司
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- 品牌:美国那诺-马斯特
- 型号:NIE-4000
- 产地:美洲 美国
供应商:那诺—马斯特中国有限公司
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