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日本 离子束刻蚀系统Elionix
- 品牌：日本ELIONIX
- 型号： EIS-200
- 产地：日本
- 供应商报价： 面议
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深圳市科时达电子科技有限公司
更新时间：2024-04-26 06:25:51 -
企业性质一般经销商
入驻年限第3年
营业执照已审核
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- 详细介绍
EIS-200是Elionix推出的一款基于电子回旋共振技术（ECR）的小型离子束蚀刻系统，特别适合于科研用离子束刻蚀、减薄，清洗、镀膜等。
EIS-200原理：
利用ECR技术产生高能Ar+离子束，Ar+离子束通过电场加速到达样品表面，对样品进行物理的轰击达到刻蚀作用。
EIS-200具有以下优点：
? 方向性好，各向异性，陡直度高，侧向刻蚀少
? 分辨率高
? 不受刻蚀材料限制，可对石英等材料进行蚀刻
? 可控制蚀刻Taper角
? 可以设定多样的实验条件
二、主要功能
l 主要应用
纳米图案刻蚀
高深宽比蚀刻
表面清洁
离子减薄
l 技术能力
离子枪
ECR型离子枪
离子化气体
Ar、Xe等、惰性离子气体
N2、O2、CF4等、活性离子气体
加速电压
100V～3000V 连续可变（高加速电压可选) (输出电流20mA MAX)
离子束流密度
Ar:1.5mA/cm2以上 (2kV加速時）
O2:2.0mA/cm2以上 (2kV加速時）
离子束有效直径
Φ20mm（FWHM35mm)
离子束稳定度
±3％/2H
大样品尺寸
Φ4英寸
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