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GIB 精修离子束系统

本文由 复纳科学仪器(上海)有限公司 整理汇编

2024-09-12 18:32 322阅读次数

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Technoorg  Linda  的低能氩离子枪(GIB) 适用于表面减薄、其他表面处理后的后处理、清洁以及去除无定形和氧 化物表面层。 当低能氩离子枪集成到扫描电镜中时 ,其作用尤为明显。有了集成离子枪 ,就可以在研究之前对样品  进行精修。 实现高质量样品的另一个重要应用是在双束 SEM / FIB 系统中进行 FIB 样品制备后,对 TEM 样品进行最 终抛光和温和的表面清洁。

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