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IBE离子束刻蚀机

本文由 深圳市蓝星宇电子科技有限公司 整理汇编

2024-07-28 19:08 2398阅读次数

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NANO-MASTER 的NIE-4000 反应离子束刻蚀系统,通过加速的 Ar 离子进行物理刻蚀或铣削、配合活性气体可以实现化学反应,可以增加离子束刻蚀的效率和选择比。整个系统为独立式的完整系统,可以提供高均匀性高性能的 RIBE 刻蚀工艺。系统采用超净设计,可支持百级超净间使用。

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