IBE离子束刻蚀机

本文由 深圳市蓝星宇电子科技有限公司 整理汇编

2024-07-28 19:08 2398阅读次数

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• IBE离子束刻蚀机

  NANO-MASTER 的NIE-4000 反应离子束刻蚀系统，通过加速的 Ar 离子进行物理刻蚀或铣削、配合活性气体可以实现化学反应，可以增加离子束刻蚀的效率和选择比。整个系统为独立式的完整系统，可以提供高均匀性高性能的 RIBE 刻蚀工艺。系统采用超净设计，可支持百级超净间使用。[详细]

  2024-07-28 19:08

  产品样册

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• QCM-D研究光刻蚀分解

  QCM-D研究光刻蚀分解[详细]

  2015-07-07 00:00

  实验操作

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• DPN（纳米蘸笔刻蚀）技术

  DPN（纳米蘸笔刻蚀）技术[详细]

  2024-09-28 01:11

  安装说明

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• 使用离子束制备SEM样品：徕卡EM TIC 3X三离子束研磨仪

  "如今，离子束蚀刻技术是应用Z广泛的电子显微镜样品制备方法。在蚀刻过程中，高能氩离子束轰击样品，并根据其应用领域调整离子束能量和切割角度。 在制备扫描电子显微镜样品时，离子束蚀刻可改善或修改样品表面质量。 首先，离子束刻蚀能够清洁、抛光或增加表面的衬度。经离子束处理的样品表面足以适用于各种灵敏的表面性能测试方法（如EBSD）。 另外，离子束刻蚀也可以通过斜面切割制备样品的横截面。 徕卡EM TIC 3X是一款离子束研磨仪，用于制备扫描电子显微镜样品。可以制备样品的横截面以及大面积表面。 样品的横截面还可以使用低能离子束再次处理。该处理过程既可以清洗横截面，也能增强其衬度。 另外，EM TIC 3X可以通过离子束抛光工艺改进样品的机械抛光表面。样品表面的Z大离子束制备直径为 25mm，Z大样品直径为38mm。 离子束抛光可以清洗、抛光样品表面，并增强其衬度，可以在一台仪器中完成所有类型的扫描电子显微镜样品制备流程。 该仪器配备了一个模块化的系统，可配置5种适用于不同应用的样品台：标准样品台，冷冻样品台，多样品台，旋转样品台和预抽真空系统，用以转移冷冻样品或易氧化的样品。EM TIC 3X[详细]

  2024-09-28 01:25

  实验操作

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• 使用SmartSPM进行矢量纳米刻蚀

  使用SmartSPM进行矢量纳米刻蚀[详细]

  2014-02-21 00:00

  课件

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• 原子力显微镜的纳米压痕及纳米刻蚀

  原子力显微镜的纳米压痕及纳米刻蚀[详细]

  2024-09-28 00:08

  其它

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• GIB 精修离子束系统

  Technoorg Linda 的低能氩离子枪（GIB） 适用于表面减薄、其他表面处理后的后处理、清洁以及去除无定形和氧 化物表面层。 当低能氩离子枪集成到扫描电镜中时 ，其作用尤为明显。有了集成离子枪 ，就可以在研究之前对样品 进行精修。 实现高质量样品的另一个重要应用是在双束 SEM / FIB 系统中进行 FIB 样品制备后，对 TEM 样品进行最 终抛光和温和的表面清洁。[详细]

  2024-09-12 18:32

  产品样册

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• 石化行业 酸性刻蚀液中氟离子含量的测定

  石化行业 酸性刻蚀液中氟离子含量的测定[详细]

  2019-01-25 09:04

  应用文章

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• 聚焦离子束扫描电镜LYRA3 XMU_XMH-扫描电子显微镜产品资料

  聚焦离子束扫描电镜LYRA3 XMU_XMH-扫描电子显微镜产品资料[详细]

  2015-07-20 00:00

  产品样册

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• 日立 Ethos NX5000 聚焦离子束显微镜 FIB SEM

  日立 Ethos NX5000 聚焦离子束显微镜 FIB SEM[详细]

  2025-08-13 16:00

  产品样册

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• 离子束研磨金属样品观察电子通道衬度图像

  离子束研磨金属样品观察电子通道衬度图像[详细]

  2024-09-20 03:14

  期刊论文

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• 徕卡三离子束切割仪-Leica EM TIC 3X

  Leica EM TIC 3X 通过离子枪激发获得的离子束，以垂直于样品侧面纵向轰击样品，可获得高质量无应力“切割”截面，便于SEM观察。该处理方法适用于多层膜材料、软硬复合材料等高难度制备样品，并且操作简单，可有效避免涂抹效应，不需要大量摸索条件即可获得理想的截面，使样品暴露内部细微结构信息。[详细]

  2024-09-11 17:47

  产品样册

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• 针筒填充机，灌胶机

  针筒填充机是利用压缩空气作为动力，由精密气动元件和红外线控制重量，构成一套自动分装系统。自动分装，效率高，安全。表面光滑，灌胶量非常准确、动作灵敏可靠，调节方便操作简便配比精度高，按需配比，节省胶水；程序编辑简单，拆装简单方便等特点。[详细]

  2022-09-15 15:26

  标准

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• 三离子束切割仪 Leica EM TIC 3X产品样册

  三离子束切割仪 Leica EM TIC 3X产品样册[详细]

  2024-09-13 00:40

  应用文章

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• 用Leica EM TIC3X三离子束切割仪解剖太阳能电池

  用Leica EM TIC3X三离子束切割仪解剖太阳能电池[详细]

  2024-09-21 08:29

  产品样册

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• 蔡司 FIB LSM 980 with Airyscan 2 激光聚焦离子束显微镜

  蔡司 FIB LSM 980 with Airyscan 2 激光聚焦离子束显微镜[详细]

  2025-08-28 09:36

  产品样册

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• 液相谱装柱机—装柱机—色谱装柱机（专用机）

  液相谱装柱机—装柱机—色谱装柱机（专用机）[详细]

  2016-07-21 00:00

  安装说明

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• 砂尘试验机

  砂尘试验机[详细]

  2012-10-31 00:00

  期刊论文

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• 用Leica EM TIC3X三离子束切割仪解剖半导体芯片

  用Leica EM TIC3X三离子束切割仪解剖半导体芯片[详细]

  2016-01-07 00:00

  标准

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