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108进口离子溅射仪

品牌：天津天泽智能
型号： 108
产地：东丽区
供应商报价： $ 10000

天泽智能科技发展（天津）有限责任公司更新时间：2023-10-19 22:18:05

企业性质生产商

入驻年限第5年

营业执照已审核

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详细介绍

108 镀膜仪（离子溅射仪）

108离子溅射仪是一款结构紧凑的桌上型镀膜系统，特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。

描述

108离子溅射仪是一款结构紧凑的桌上型镀膜系统，特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。

主要特性

l 通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程，避免样品表面受损。

l 操作容易快捷，控制的参数包括放气以及氩气换气控制。

l 可用MTM-10高分辨膜厚控制仪（选件）标准测定所镀膜的厚度。

l 数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响，可得到一致的镀膜速率和很好的镀膜效果。

可使用多种金属靶材：Au， Au/Pd,，Pt,，Pt/Pd（Au靶为标配），靶材更换快速方便。

技术参数

溅射系统
样品室大小	直径120mm x 120mm 高
靶材	标配黄金Au靶，Pt等其它靶材可选大小：直径57mm x 0.1mm厚
样品台	可以装载12个SEM样品座，高度可调范围为50mm
溅射控制	微处理器控制，安全互锁
溅射电流	5~45mA可调
溅射头	低电压平面磁控管，靶材更换快速，环绕暗区护罩
计量表	真空： Atm – 0.001mbar，电流：0~50mA
厚度监控 (选件)	使用MTM-10高分辨厚度监控仪（选件）标准测定所镀膜的厚度
控制方法	具有气体换气和泄气功能，带有“暂停”控制的数字定时器（5－300s）
真空系统
真空泵	2级直连式高速真空泵
抽气速率	3.0 m3/小时，真空度到 0.1mb所需时间30秒.
极限真空	5 x 10-3mba
桌上系统	真空泵可置于抗震台上，全金属集成耦合系统

产品优势

108离子溅射仪是一款结构紧凑的桌上型镀膜系统，特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。
描述
108离子溅射仪是一款结构紧凑的桌上型镀膜系统，特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。
主要特性
l 通过GX低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程，避免样品表面受损。
l 操作容易快捷，控制的参数包括放气以及氩气换气控制。
l 可用MTM-10高分辨膜厚控制仪（选件）精确测定所镀膜的厚度。
l 数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响，可得到一致的镀膜速率和ZJ的镀膜效果。
可使用多种金属靶材：Au， Au/Pd,，Pt,，Pt/Pd（Au靶为标配），靶材更换快速方便。