天泽智能 热蒸发镀碳仪 TZZN-1000C

真空镀碳仪

厂家

型号：TZSC-1000C

注明：桌面型蒸镀碳层，减少因样品镀层对X射线能量谱仪做元素分析时的能量损失，可以选择蒸发碳绳和蒸发碳棒两种方式。

技术规格说明

样品仓尺寸：φ150mmX110mm

蒸发面积：约Φ140mm

真空度：≤4×10-2mbar

工作电压：220V,50HZ

蒸发输出：电压30V

蒸发靶材：碳棒、碳绳

蒸发电流：约100A

理想膜层的特点

1.良好的导热和导电性能。

2.不管样品的表面形貌如何，覆盖在所有部位的膜层需要薄厚均匀。

3.膜层对样品的化学成分干扰很小，对从样品中发射的X射线强度影响很弱。

4.这层膜主要增加样品表面的导电性能和导热性能，相较于导电金属膜层的厚度普遍在10nm以上；可提供碳的镀层，在3-4nm分辨率尺度内不显示其几何形貌特点，避免引入不必要的人为图像，镀层精细均匀，适合非常粗糙的样品，高分辨研究。

5.可以喷碳（碳棒或碳绳），有利于对样品中非碳元素的能谱分析。

6.非导电样品观察背散射电子图像，进行EBSD分析，也应该喷碳处理。

主要用于扫描电镜 EDS 样品镀导电膜 ，仪器操作简单方便，是配合SEM 制样的仪器。

TZZN-1000C热蒸发镀碳仪

使用说明书

 设备外观仅供参考，以实物为准）

特点：

1.热蒸发仪是将碳绳连接在真空中的两个电极上，为了避免碳在空气中加热燃烧；

2.特殊设计的钟罩边缘橡胶密封圈，可保证长期使用不会出现影响样品蒸镀/溅射室的玻璃钟罩“崩边”现象；

3.密封高压头更经久耐用。低真空 4*10-2mbar时用真空保护（标准机型为结构密封）。

4.碳绳这时候相当于白炽灯的灯丝。“灯丝”的温度随着交流电压的加大而升高。当达到 3000℃ 以上，开始白炽发光的时候，大量的碳原子从"灯丝"表面向任意方向发射。把样品放在灯丝附近，在样品表面可以形成致密的碳膜。

5.为了使得样品不至于被高温灼烧，蒸碳在瞬间完成（通过调节旋钮延长保护时间）。

使用说明书并非质量保证书，信息有谬误支出欢迎更正指导；产品的改进，均由本公司随时做出解释，修正内容将编入再版使用说明书中。

一、.使用注意事项

■请确保电源插座接触良好并且保证有可靠接地！

虽然热蒸发镀碳仪的平均电流不大，但瞬时工作电流可能相对较高。

■请确保蒸发镀碳仪的工作电压稳定、正常！

我公司标准产品的工作电压范围为 ：210V~250V

■电源频率不匹配会导致仪器损坏！

仪器的使用频率为 50HZ。

■禁止私自对仪器进行拆卸改装！

本产品为精密仪器，拆卸不当可能发生真空系统漏气、设备短路等情况，造成仪器损坏和人员伤亡。

■蒸碳仪在不工作时不要让真空室一直处于真空状态！

真空室一直处于真空状态，真空泵进气口处于负压，使得泵油倒灌样品室。

注意：本产品为精密设备，请勿让非专业人士操

作，使用过程中操作人员不得离开现场

二、外形及部件名称（随机变化略有不同）

1.真空表，2.电流表，3.启动按钮， 4.真空指示灯，5.转换开关（当前为右侧），6.延时旋钮，7.电源

样品室：（可换装碳棒电极）

1.保护帽，2.上盖，3. “凹”型密封圈，4.石英钟罩，5.碳绳电极，6.挡板，7.底座

1.A/B/C电极，2.真空泵电源，3.接地端子，4.过流保险，5.220V电源,6.短路指示灯，7.挡板

泵和真空管道

1过滤器，2.电磁阀接头，3.真空泵排气口卡箍，4.真空泵加油口，5.真空泵放油口，6.真空泵进气口卡箍，7.自动开关，8.真空管

三、安装使用说明

仪器的安装                   

1、打开包装，检查仪器是否完好，附件是否齐全

2、清理样品室，检查样品室中是否有异物、粉尘，并清理干净。

3、把油污过滤器安装在泵的出气口，并用 卡箍卡紧。

4、连接真空管道，将 KF16端接仪器，另一端接泵的进气口，并用卡箍卡紧。

5、将电磁阀的电源线和泵的引出端对插到一起。

6、把泵电源插在主机后面板的泵电源插座上。

7、将蒸发上盖的蒸发公共端 A、蒸发 B、蒸发 C按颜色对应接在主机后面板的接头上。

8、将玻璃钟罩放在主机的底盘上，将热蒸发上盖放在主机的玻璃钟罩上。

9、将总电源线插上。

 10. 碳绳的更换

1.AB段碳绳，2.AC段碳绳，通过转换开关选择

用六角扳手将上盖的三个内六角螺钉拧松，将碳绳按照BAC或CAB的顺序依次缠绕在卡槽中，分别拧紧螺钉，将碳绳剪断即可。

    前面板的“5.转换开关”，左侧对应使用的碳绳为AC段，右侧对应使用的碳绳为AB段。

四、技术规格说明

样品仓尺寸：φ150mmX110mm

蒸发面积：约Φ140mm

真空度：≤4×10-2mbar

工作电压：220V,50HZ

蒸发输出：电压30V

蒸发靶材：碳棒、碳绳

蒸发电流：约100A

五、仪器的使用经验

理想膜层的特点

1.良好的导热和导电性能。

2.不管样品的表面形貌如何，覆盖在所有部位的膜层需要薄厚均匀。

3.膜层对样品的化学成分干扰很小，对从样品中发射的X射线强度影响很弱。

4.这层膜主要增加样品表面的导电性能和导热性能，相较于导电金属膜层的厚度普遍在10nm以上；可提供碳的镀层，在3-4nm分辨率尺度内不显示其几何形貌特点，避免引入不必要的人为图像，镀层精细均匀，适合非常粗糙的样品，高分辨研究。

5.可以喷碳（碳棒或碳绳），有利于对样品中非碳元素的能谱分析。

6.非导电样品观察背散射电子图像，进行EBSD分析，也应该喷碳处理。

注意：热蒸发功能容易对样品产生污染，蒸发温度过高（例如碳的蒸发温度为3500K)，会损伤热敏感材料。

7.真空蒸发镀层厚度可以通过下面公式进行估算:

T=3/4(M/4πR2ρ)cosθ×10-7（式中2和-7为指数）

其中:

T(nm)为蒸镀层的厚度；

M(g)为蒸发材料的总质量；

ρ(g/cm3)为蒸发材料的密度；

R(cm)为蒸发源到试样的距离；

θ(度)为样品表面法线与蒸发方面的夹角。

使用说明

1、将蒸发上盖放在主机的玻璃钟罩上。

2、打开泵开关（泵的使用说明详见真空泵使用说明书）。

3、放入样品后，打开电源开关，打开总开关，电源指示灯亮

4、真空表持续升高，大约20Pa时限流保护灯亮，上升至4×10-2mbar时趋于稳定时可以开始启动蒸碳（真空越高蒸碳的效果越好，所需的等待时间会相对延长，此设备真空不可调节）。

5、旋转蒸发计时器设定时间：时间范围：0—1秒；旋转钮设有8.

5个挡位对应相应的蒸发时间。

（注意：单次蒸发时间越长对碳绳和碳棒的消耗越大；挡位的选择：1-4挡蒸发碳膜不太明显，5-7挡及以上挡位，对应的单次蒸发量沉积在样品上的碳膜会有明显的变化。）

6、设定好挡位，按住蒸发“启动/START”按钮直至时间结束。

（注意：选择高挡位长时间蒸碳时，如果多次对同一样品蒸碳，因为膨胀系数的不同，会有裂纹或是起皮现象，针对不同样品需要摸索不同的蒸碳条件。）

7、蒸碳完毕，关闭电源，待真空泵上电磁放气阀放气结束后，打开上盖取出样品，然后闭合上盖

8、如果不再进行镀膜，关断蒸发仪电源。

常见故障排除

故障现象判断与解决方法

1.真空抽不上去：检查玻璃钟罩是否放端正，上盖是否放端正或者没有盖好，电磁阀与泵的对插是否连接好。

2.使用一段时间检查溅射室中或管道内是否有油，可用汽油、无水酒精、丙酮溶液清洗

3.真空表的指示如有轻微的偏差，不会影响使用。

4.碳绳是否夹紧、熔断。蒸发AB、AC,公共端是否接好

参考图片：