电子束蒸发系统

※ 主要应用于微电子、光电子、攻率器件、声表器件、射频 器件、先进封装（TSV）、MEMS、光学、材料研究等应 用中金属介质薄膜的沉积。 

※ 蒸发源：电子枪、热蒸发电阻或同时配置电子枪和热蒸发 电阻。 

※ 多种工装夹具：穹顶式、行星式、KNUNSEN式。 

※ 真空泵可选：低温泵/扩散泵，双叶旋片泵/干泵。 

※ 配置离子源实现工件预清洗及离子辅助沉积。 

※ 膜厚检测：石英晶体膜厚控制仪，光学膜厚控制仪。 

※ 选配离子束辅助沉积功能。 

※ 选配衬底大角度倾斜功能。 

※ 选配Kaufman离子源。