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电子束蒸发系统
- 品牌：美国PVD
- 型号： E-Beam Evaporator System
- 产地：美国
- 供应商报价： 面议
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科睿设备有限公司
更新时间：2023-06-26 10:47:00 -
企业性质生产商
入驻年限第5年
营业执照已审核
- 同类产品真空镀膜及刻蚀设备(5件)
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- 详细介绍
※ 主要应用于微电子、光电子、攻率器件、声表器件、射频 器件、先进封装（TSV）、MEMS、光学、材料研究等应 用中金属介质薄膜的沉积。
※ 蒸发源：电子枪、热蒸发电阻或同时配置电子枪和热蒸发 电阻。
※ 多种工装夹具：穹顶式、行星式、KNUNSEN式。
※ 真空泵可选：低温泵/扩散泵，双叶旋片泵/干泵。
※ 配置离子源实现工件预清洗及离子辅助沉积。
※ 膜厚检测：石英晶体膜厚控制仪，光学膜厚控制仪。
※ 选配离子束辅助沉积功能。
※ 选配衬底大角度倾斜功能。
※ 选配Kaufman离子源。
