小型4通道管式炉（炉管直径25mm,温度1700℃

加热元件

硅钼棒

工作温度&恒温区

• 连续工作温度1600°C

• 最高工作温度1700°C(<1 hrs)

• 恒温区: 30mm(+/- 1°C )，60mm(+/- 5°C)

炉管

• 高纯氧化铝炉管：Φ25X L 460 mm，4根

• 4个浮子流量计

• 快速连接法兰，KF25真空接口

• 真空度：10^-5torr（采用分子泵）

• 有一真空泵接口（KF25）,可在本公司购买各种真空泵

• 

温度控制

• 采用触摸屏设置温度程序，带有超温和断偶保护

• 4个温区分别由4个独立的温控系统控制

• 4根B型热电偶

• 可用电脑设置和显示温度程序

最高加热速率

10°C/ min

控温精度

+/-1°C

淬火（可选）

• 此管式炉可升级为立式淬火炉（加上旋转机构和淬火剂罐）

• 

功率，工作电压

6 KW,208 - 240V单相, 50/60Hz

质量认证

• CE认证

• 所有电器元件（>24V）都通过UL?/?MET?/?CSA认证

• 若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证

• 

产品尺寸

• 1000 L x 650 W x 640 H, mm

• 

一年质保期，终生维护（不包含炉管，密封圈和加热元件）

警告&应用注意

• 此管式炉，只可在真空或常压状态使用，炉管内的相对气压不可大于0.02MPa

• 进气流量<200 SCCM ( 200ml/min)

• 向炉管内通气的气瓶上必须安装双级减压阀（可在本公司购买）

• 可选购本公司的供气系统，可用于进行CVD实验