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Si+SiO2+Si3N4薄膜(进口料)

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详细介绍

产品名称:

Si+SiO2+Si3N4薄膜(进口料)

常规尺寸:

dia50.8±0.5mmx0.250 ±0.025mm

备注:

可按照客户要求镀膜50-1000nm;

标准包装:

技术参数:

1000级超净室100级超净袋真空包装或单片盒装

薄膜厚度:

双面镀300nmSiO250nmSi3N4

研究级别:

about80%useful area

生长方法:

在1000℃干氧法

折射率:

-1.455

Si参数:

<100>±0.5°;P型掺B;R:0.01-0.1ohm-cm,

抛光:

双面抛光

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