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进口AlN单晶

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详细介绍

产品名称:

ALN单晶进口)


技术参数

晶向:<0001>±1°

尺寸:9.9x9.9x0.5±0.05mm

吸收系数:Absorption coefficient< 80 cm-1Etch pit density

(EPD):< 1E5 cm-2

可用面积Usable area:> 80 %

边缘排除edge exclusion:1.0 mm

表面粗糙度:Al 面: CMP polish (RMS < 0.8 nm), N 面: optical polish (RMS < 3 nm)

位错密度dislocation density:< 1E5cm-2XRD

摇摆曲线图(spot size 10 x 1 mm2):FWHM (002): < 0.3°,FWHM (102)< 0.5°

产品规格

9.9x9.9x0.5±0.05mm

标准包装

1000级超净室100级超净袋真空包装盒

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