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AEROTECH不锈钢精密气体减压器Pa-1L

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AEROTECH不锈钢精密气体减压器Pa-1L 核心参数
最大输入压力 2MPa 最大输出压力 0~0.99MPa
环境温度 -10~+70℃

产品特点

Pα-1L精密气体减压器。单级膜片式设计;低压输入,低压标准流量输出,输出压力稳定;适用于半导体高纯气体、低浓度毒性、低浓度腐蚀性、易燃易爆气体等。标准流量20L/min。

详细介绍

Pα-1L精密气体减压器。单级膜片式设计;低压输入,低压标准流量输出,输出压力稳定;适用于半导体高纯气体、低浓度毒性、低浓度腐蚀性、易燃易爆气体等。标准流量20L/min。


工作条件:

进口压力2MPa
出口压力0~0.99MPa
CV值0.06
爆破压力30MPa
原压变动

0.0004MPa

(入口压力变化0.1MPa时,出口压力的变化量)

温度-10~+70℃
外漏率≤1×10-9Pa.M3/Sec.He
安装方式前面板安装,后面板安装


产品特点:

柔性膜片结构,手柄特殊结构设计,调节顺畅,输出压力精密到0.001MPa.流量损失小

单级式减压,死体积小,便于吹扫

进口出口可以加装其他附件

主要部件电解抛光处理,增加腐蚀性

内置精密过滤器,保证气体洁净

超纯水清洗


主要部件材料:

零部件名称Part材料(Materials)
后盖BonnetSUS316
阀体BodySUS316L
阀针PoppetSUS316L
膜片DiaphragmSUS316L
密封垫SeatPTFE、PCTFE或PEEK


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