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氢气杂质分析质谱仪(H2 Impurities Analyzer)

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详细介绍

美国P+E 公司研发制造的的HEMS 氢气杂质分析质谱通过ZL的氢气杂质分离技术,实现对这些杂质的行即时识别和定量分析,实时检测浓度可低至ppb,完全无需样品准备,直接在线监测,非常适用于在商业、工业和科研环境中操作。

HEMS可支持多种解决方案:
1.氢气燃料检测--符合美标 SAEJ2719/ISO14687-2
2.半导体行业EPI过程气体检测 -- 优化支持MOCVD 用气质量的监测
3.核电分离气检测对核电反应堆的氚水进行吹扫还原气的纯度监控

技术参数:


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