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残余气体分析仪(四极质谱仪)

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详细介绍

仪器简介:
HIDENRGA系列残余气体分析四极质谱仪(ResidualGasAnalysers),检测容器中的存在组分,或进行过程中产生气体的分析。针对真空诊断的精确分析。

残余气体或泄漏检测
实际泄漏或脱附分析
除气研究
烘烤周期
泵效能
腔室/过程气体污染物


主要特点:
灵敏度PPM,质量数至300amu
稳定性(24小时以上,峰高变化小于±0.5%)
MASsoft软件控制,或由局域网进行多个系统控制
快速显示柱状图、趋势分析和信号峰
混合模式扫描-多个windows窗口显示信息,例如趋势、柱状图和信号峰
同步显示数据图,列表
同步背景扣除,自动质量数列表
数据输出为ASCII格式,至windows设备
即时动态数据交换至其他DDE兼容的windows软件,例如
Excel、SPC-IV统计过程控制软件等

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