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紫外激光光束分析仪

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详细介绍



技术参数:

紫外激光光束分析仪(UV - Laser Beam Profiler)

可用于准分子激光器和 Nd:YAG 激光器的高次谐波

相机系统:
高动态范围

高分辨率紫外转换器
Homogeneity up to > 98 % over active area
延迟时间短

损伤阈值高达15 J/cm
单脉冲探测频率达1 KHz(由转换器的延迟时间决定)

Laser Wavelength beam size
F2 157 nm
ArF 153 nm
NdYag 5th 213 nm < 1mm < 5x4 < 9x6 < 13x9 < 18x13 < 27x20 <35x27 <43x32 < 50x38*
KrF

248 nm

Laser spot
NdYag 4th 266 nm
XeCI

308 nm

ML5222 10x direct ML5201 ML5202 ML5203 ML5204 ML5205 ML5206 ML5207
XeF 351 nm ML5223 20x
NdYag 3rd 355 nm ML5224 40x
* (larger sizes available on request, up to 200 mm

Software ML1201 beamlux II advanced
Camera ML3720 1/2” CCD782 x 582
ML3743 2/3” CCD1392 x 1040


主要特点:

Features

可测量所有的准分子激光器
在线质量控制
real time evaluation of the laser with 1/10th of a second

Synchronizes up to three cameras simultaneously for measurement of raw beam and processing plane

TCP/IP remote control to control your laser system from your desk

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