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合肥科晶1150℃三温区8.5" 管式炉

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合肥科晶1150℃三温区8.5" 管式炉 核心参数
内部尺寸 L 1700×W 750 × H1800mm 稳定性
最高温度 1150°C

产品特点

GSL-1100X-III-8.5T是一款通过CE认证并采用UL标准制造的一款三温区管式炉。该管式炉配备有8.5英寸的石英管和水冷法兰,一块触摸屏控制温度和真空度,操作简洁方便。zui高工作温度1150℃,真空度可以达到10-5 torr。该管式炉是一款理想的做退火,扩散和CVD等的实验设备。

详细介绍

1150℃三温区8.5"管式炉产品介绍:

      GSL-1100X-III-8.5T是一款通过CE认证并采用UL标准制造的一款三温区管式炉。该管式炉配备有8.5英寸的石英管和水冷法兰,一块触摸屏控制温度和真空度,操作简洁方便。最高工作温度1150℃,真空度可以达到10-5 torr。该管式炉是一款理想的做退火,扩散和CVD等的实验设备。

1150℃三温区8.5" 管式炉技术参数:

炉体结构
  • 采用双层壳体风冷系统,工作时使得壳体表面温度<60°C。

  • 采用高纯度氧化铝作为炉膛材料,保温性能,最大限度减少热量损失。

  • 通过触摸屏控制工作温度,真空度,水冷机组

  • 在炉子底部安装有水冷和高真空机组

  • 采用铰链水冷法兰,操作方便简洁

石英管尺寸
  • 采用高纯度石英管

  • 尺寸:  216 O.D x 206 I.D x 1300mm L  (8.5" O.D x 8.1" I.D x 51" L)

  • 提示:石英管是损耗品,请点击左下方的图片查看相关细节

  • 警告:石英管是易碎品,请妥善保管。人为损坏不在保修范围内。

  • 标配两块氧化铝纤维管堵,用于阻挡管内的热辐射(加热炉在工作时必须放入管堵)

  • 可选石英管堵,提高洁净度及真空度(点击图片查看详细资料)

加热区
  • 总加热区长度: 900 mm (36")

  • 三个区: 300 mm + 300 mm + 300mm (12"每个加热区)

  • 恒温区长度: 750 mm (三个温区可设置相同的温度,误差为+/- 2°C)  注:由于测量手段及外部环境的影响,测量结果可能会有偏差,此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据,请与我公司销售人员联系 

工作温度
  • 最高工作温度 1150°C

  • 连续工作: 200~1100°C

  • 最大加热/冷却速率: 10°C/min

温度控制
  • 配备一块触摸屏控制温度

  • 三个加热区可分别设置30段升降温程序

  • 控温精度+/- 1°C

  • 每个温区都配备一个K型omega原装热电偶

真空泵系统
  • 在炉子下方配备了一个数子分子泵系统

  • 最高真空度可达10-5 torr

  • 真空泵由触摸屏控制

真空系统及法兰
  • 配备一对水冷密封法兰(铰链法兰)

  • 左法兰配备:真空计和触摸屏控制的电磁阀(用于控制炉内气氛环境)

  • 右法兰配备:KF40真空接口,用于连接真空泵接口上的电磁阀

  • 法兰外端配备一个外径1/4"的热电偶插口,用于方便进行温度校准

  • 炉子底部配备有一个16L/min水冷机,用于水冷法兰的供水

可选可以另配混气系统用于CVD实验
额定电压
  • 单相, 220V AC, 50/60 Hz

  • 包括AWG 8#电源线

产品尺寸 L 1700×W 750 × H1800mm  
净重250Kg
质保期一年质保期,终身维护(炉管,密封圈,加热元件易耗件除外)
质量认证
  • CE认证

  • 所有电器元件(>24V)都通过了UL/MET/CSA认证

使用注意事项:
  • 炉管内气压不可高于0.02MPa

  • 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全

  • 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态

  • 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

  • 石英管的长时间使用温度<1100℃

  • 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)



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