FIB小知识：FIB-SEM双束电镜的应用领域

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FIB-SEM 双束电镜自上世纪九十年代问世以来就收到材料研究工作者的青睐，尤其是对于半
导体领域。在 1990 年 Orsay Physics 就为 IBM 研制出了世界上DY台 FIB-SEM 双束系统。所
谓的 FIB-SEM 双束电镜就是在扫描电镜的基础上增加了聚焦离子枪（FIB）。因为 FIB 具备微区
加工能力，双束电镜不仅能够观察和分析样品的表面特征，同时可以利用离子枪的切割能力，观
察和分析样品表层下面的微区特征；因此 FIB 和 SEM 的结合，发展成为一种功能更加全面的材料微区分析手段
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