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JEOL FE-SEM 的**光阑角控制镜

发布:捷欧路(北京)科贸有限公司
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       JEOL FE-SEM采用了**光阑角控制镜(ACL),这样,即使照射样品的探针电流很大,与从前相比, 也能获得很小的电子束斑。

image.png

大探针电流时,用ACL 能获得很小的电子束斑。

探针电流大的时候,束斑直径也变大。

       样品: 金属材料 (Cu、Ag、Sn、Pb) 

       倍率:×15,000 

       加速电压: 5 kV 

       探针电流 50 nA

image.png

Z小化的分析体积使用较低的加速电压, 较大的探针电流Z小化的面分布速度可以减少对样品的损伤

高空间分辨率的微区元素面分布及快速测试

2020-01-19
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