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球形脉冲激光沉积系统(PLD)价格:面议
- 品牌: 沈阳科晶
- 型号:
- 产地:沈阳
该系统为球形脉冲激光沉积系统(PLD)工艺研发设备。脉冲激光沉积 (Pulsed laser deposition, PLD),就是将激光聚焦于靶材上一个较小的面积,利用激光的高能量密度将部分靶材料
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平行板电容式PECVD价格:面议
- 品牌: 沈阳科晶
- 型号:
- 产地:沈阳
平行板电容式PECVD是一种用等离子体激活反应气体,促进在基体表面或近表面空间进行化学反应,生成固态膜的技术。等离子体化学气相沉积技术的基本原理是在高频或直流电场作用下,源气体电离形成等离子体,利用