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武汉迈可诺科技有限公司
主营产品:匀胶旋涂仪,等离子清洗机,光刻机,压片机,薄膜测厚仪,显影腐蚀机,紫外臭氧清洗机
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旋涂仪速度和加速度的控制是怎样的?

发布:武汉迈可诺科技有限公司
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标准速度范围:1-8,000 转/分钟(RPM)[分辨率: <0.5 转/分钟(RPM)可重复性:±0.5 转/分钟,这项指标经过美国国家标准技术研究院(NIST)认证过的,并且无需再校准!]

加速度:空载时,可达80000转/分钟/秒(RPM/sec);负载时,可达30000转/分钟/秒(RPM/sec),Z小加速度值增加精度可达1转/分钟(RPM);

工作时长:1秒至99分59.9秒,Z小时间增加精度:0.1秒;

工作程序段:可以存储20个不同的材料涂敷程序段,每个程序段(每种材料)可以设定Z多51个速度变化步骤。


2018-08-21
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