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深紫外单纵模固体激光器Ixion193

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详细介绍
深紫外单纵模固体激光器Ixion193
IXION 193 为全固化单频激光器,其线宽达到变换极限,可用于光学计量、193nm 步进光学系统校准、高功率准分子激光器种子等。
典型应用:
• 光谱仪校准;
• 光刻;
• 干涉仪;
• 193nm 计量测量
• 准分子激光器种子源

深紫外单纵模固体激光器Ixion193典型参数
型 号 IXION-193 SLM
波 长 193.368 nm
平均功率 10 mW
脉 宽 8-12 ns
脉冲能量 1.6µJ
重复频率 1-15 kHz
M2 因子 < 1.6
线 宽 <80MHz/0.01pm/0.0027cm-1
调谐范围 >80GHz/10pm/2.6cm-1
相干长度 >2m
脉冲宽度

光谱带宽

长时间功率稳定性

光束质量
产品优势
Ixion193为全固化单频激光器,其线宽达到变换极限,可用于光学计量、193nm 步进光学系统校准、高功率准分子激光器种子等。
技术资料
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