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高级朗缪尔探针(Langmuir Probe)在等离子体诊断中的应用

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概述
实验/设备条件
样品提取
实验/操作方法
实验结果/结论
仪器/耗材清单
ESPion高级Langmuir探针(Advanced Langmuir Probes for Electrical Plasma Characterisation)可快速可靠极ng确地进行等离子体诊断,是Zxian极n可靠的 Langmuir 探针
应用:

· 蚀刻/沉积/ 清洁等离子体
· 脉冲等离子体操作
· 离子密度 (Ni & Gi)
· 电子温度(Te & EEDF)
· 电子密度(Ne)
· 等离子体电位
· Debye 长度,悬浮电位

http://www.hiden.com.cn/admin/productsm.asp?ArticleID=72&classID=9 高级朗缪尔探针(Langmuir Probe)
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