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电子束感生电流 EBIC 技术

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实验/设备条件
样品提取
实验/操作方法
实验结果/结论
仪器/耗材清单
电子束感生电流 (EBIC) 技术可通过测量样品或设备暴露于电子束时流动的电流,对半导体材料和设备的局部电气性能进行表征
电子束射到半导体上时,会形成电子空穴对如果载流子(即上文所述的电子空穴对)扩散到带有内置电场的区域,则电子和空穴将分离,电流将流
动当电流流动到外电路时,EBIC 技术会测量该电流在没有重组ZX(自由电子和空穴湮没的位置)的材料中,收集到的电流将是均匀的,而且并
不相关然而,引发电子和空穴重组的样品区域减少了收集电流,造成 EBIC 图中形成对比,因此揭示了半导体样品中(少数)载流子的流动 Gatan 宽束氩离子抛光系统 697 Ilion II Gatan Mono CL4 高分辨成像与光谱分析阴极发光成像系统 钨灯丝系列扫描电镜 EVO MA 25/LS 25
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