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电镜附件简介
电镜附件有X射线能谱仪、X射线波长色散谱仪、离子研磨仪等。X射线能谱仪首先是在扫描电镜和电子探针分析仪器得到应用,其优点是可以分析微笑区域(几个微米)的成分,并且可以不用标样。它可用来分析材料表面微区的成分,分析方式有定点定性分析,定点定量分析,元素的线分布,元素的面分布。X射线波长色散谱仪用作微区成分分析,通过机械装置的运动改变距离L来实现成分分析。离子研磨仪用于扫描电子显微镜、电子探针仪和SAM的样品制备,它可以制备软的、硬的和复合材料的样品,损伤、污染和变形可以控制得非常小。
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