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CIF扫描电镜等离子清洗机
- 品牌：CIF
- 型号： CIF-SEM
- 产地：承德
- 供应商报价： 面议
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华仪行（北京）科技有限公司
更新时间：2024-04-22 09:08:23 -
企业性质生产商
入驻年限第10年
营业执照已审核
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- CIF扫描电镜等离子清洗机 核心参数
- 详细介绍
产品特点
◆ 远程离子清洗源
◆ 清洗快速、高效
◆ 低轰击损伤
技术参数
产品型号
CIF-SEM
法兰接口
KF40（CF40）
工作气压
0.3-3Pa
等离子电源
13.56MHz 射频电源，射频功率 5-150W 可调
远程等离子源，自动匹配器
气体控制
标配单路质量流量计（MFC）可选双路。0-500sccm，自动控制气体流量，不会受环境温度和压力变化影响
气源选择
根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择
真空保证
真空计和电磁阀安全互锁
操控方式
7 寸全彩触摸屏控制，中英文互动操作界面
电源 / 功率
AC220V，50/60Hz，300W
可选配件
可选氧气、氮气、氢气发生器， 氢气纯度﹥ 99.999％，输出流量 0-500SCCM
质量保证
二年质保，终身维护
产品尺寸
L320xW385xH465mm
包装尺寸
L440xW535xH725mm
整机重量
25
- 产品优势
- CIF 扫描电镜（SEM）等离子清洗机采用远程等离子清洗源 设计，清洗快速、高效、低轰击损伤，主要用于 SEM 或 FIB 等腔 体内碳氢化合物的清洗。
- 产品文章
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| 自动化: | 自动 | 射频功率: | 5-150W |
