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CIF扫描电镜等离子清洗机

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详细介绍


产品特点

v 双等离子清洗源

v 一机多用

v 高效低损伤

 

技术参数

产品型号

CIF-SEM

法兰接口

KF40(CF40)

工作气压

0.3-3Pa

等离子电源

13.56MHz射频电源,射频功率5-150W可调,


远程等离子源,自动匹配器

气体控制

标配单路质量流量计(MFC)可选双路。50毫升/分,自动控制气体流量,不会受环境温度和压力变化影响

气源选择

根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择

真空控制

美国MKS公司925-12010皮拉尼真空计,测量范围1E-5Torr

真空保证

真空计和电磁阀安全互锁

操控方式

7寸全彩触摸屏控制,中英文互动操作界面

电源/功率

220V,50/60Hz,300W

可选配件

可选氧气、氮气、氢气发生器, 氢气纯度﹥99.999%,输出流量0-300ml/min 

质量保证

二年质保,终身维护


 


产品优势
CIF 扫描电镜(SEM)等离子清洗机采用远程、原位双等离子清洗源设计,并可自动切换,一机多用。远程等离子体清洗快速GX低轰击损伤,同时可实现常规等离子清洗。主要用于SEM或FIB等电镜腔体内碳氢化合物的清洗。
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