产品特点
v 双等离子清洗源
v 一机多用
v 高效低损伤
技术参数
产品型号 | CIF-SEM |
法兰接口 | KF40（CF40） |
工作气压 | 0.3-3Pa |
等离子电源 | 13.56MHz射频电源，射频功率5-150W可调， |
远程等离子源，自动匹配器 | |
气体控制 | 标配单路质量流量计（MFC）可选双路。50毫升/分，自动控制气体流量，不会受环境温度和压力变化影响 |
气源选择 | 根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择 |
真空控制 | 美国MKS公司925-12010皮拉尼真空计，测量范围1E-5Torr |
真空保证 | 真空计和电磁阀安全互锁 |
操控方式 | 7寸全彩触摸屏控制，中英文互动操作界面 |
电源/功率 | 220V，50/60Hz，300W |
可选配件 | 可选氧气、氮气、氢气发生器， 氢气纯度﹥99.999％，输出流量0-300ml/min |
质量保证 | 二年质保，终身维护 |
报价：面议
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报价：￥100000
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S-4800型高分辨场发射扫描电镜（简称S-4800）为日本日立公司于2002年推出的产品。该电镜的电子发射源为冷场，物镜为半浸没式。在高加速电压（15kV）下，S-4800的二次电子图像分辨率为1 nm，这是目前半浸没式冷场发射扫描电镜所能达到的最高水平。该电镜在低加速电压（1kV）下的二次电子图像分辨率为2nm，这有利于观察绝缘或导电性差的样品。S-4800的主要附件为X射线能谱仪。
二手 日立 SEM+EDX 冷场电镜SU8000系列高分辨场发射扫描电镜，其中SU8020不光1kv的分辨率提升到1.3nm，并且在探测器设计上有新的突破，配置了Lower、Up-per和Top三个Everhart-Thornley型探测器，可以接受SE、LA-BSE和HA-BSE多种信号，实现微区的形貌衬度、原子序数衬度、结晶衬度和电位衬度的观测；结合选配的STEM探测器。
日立SU-8010是日立高新技术的SEM的全新品牌，新品牌 "REGULUS系列" 电子光学系统进行了最优化处理，使得着陆电压在1KV时分辨率较前代机型提高了约20％。另外，最适合低加速电压下高分辨观察的冷场电子枪可将样品的细节放大，并获得高质量的图片。最大放大倍率也由之前的100万倍提高到了800万倍。除此之外，为了能更好的应对不同样品的测试和保持并发挥出高性能，还对用户辅助工能进行了强化。
日本电子扫描电镜JSM-IT300型是一款高性能，多功能，多用途的钨灯丝扫描电镜。颠覆性的前卫性外观设计还特别吸引眼球。操作改为触摸屏控制，简单化，从此操作电镜非常只能化。
扫描电子显微镜主要用于观察物体的表面形貌像，除此意外，如果配备能谱分析系统，在进行获得样品表面像的时候，还可以对样品的某个定点位置进行元素的半定量分析。根据EDS分析出的元素比例，进行拟合处理，可以大概的判断出样品是什么类型的样品。
SU3900/SU3800 SE系列作为FE-SEM产品，配置超高分辨率与观察能力。此系列突破了传统SEM产品受安装样品尺寸与重量的限制，通过简单的操作即可实现数据采集。可用于钢铁等工业材料，汽车、航空航天部件等超大、超重样品的观察。 此外，SE系列包括4种型号（两种类型，两个等级），满足众多领域的测试需求。用户可以根据实际用途（如微观结构控制：用于改善电子元件、半导体等材料的功能和性能；异物、缺陷分析：用于提高产品品质）选择适合的产品。
德国Zeiss 场发射电子显微镜SIGMA 300 ，ZLGemini镜筒，超高的束流稳定性，超高的束流稳定性，zhuo越的低电压性能，In Lens 探测器，磁性材料高分辨观察，ding级X射线分析设计，便越操作系统设计，超大空间，多接口，升级灵活。
德Zeiss 电子束直写仪 Sigma SEM，利用曝光抗蚀剂，采用电子束直接曝光，可在各种衬底材料表面直写各种图形，图形结构（Z小线宽为10nm），是研究材料在低维度、小尺寸下量子行为的重要工具。广泛应用于纳米器件，光子晶体，低维半导体等前沿领域。
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