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CIF扫描电镜等离子清洗机
- 品牌:美国赛福
- 型号: CIF
- 产地:承德
- 供应商报价: 面议
- 赛福仪器承德有限公司 更新时间:2022-11-10 15:02:03
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企业性质生产商
入驻年限第6年
营业执照已审核
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- 详细介绍
产品特点
v 双等离子清洗源
v 一机多用
v 高效低损伤
技术参数
产品型号
CIF-SEM
法兰接口
KF40(CF40)
工作气压
0.3-3Pa
等离子电源
13.56MHz射频电源,射频功率5-150W可调,
远程等离子源,自动匹配器
气体控制
标配单路质量流量计(MFC)可选双路。50毫升/分,自动控制气体流量,不会受环境温度和压力变化影响
气源选择
根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择
真空控制
美国MKS公司925-12010皮拉尼真空计,测量范围1E-5Torr
真空保证
真空计和电磁阀安全互锁
操控方式
7寸全彩触摸屏控制,中英文互动操作界面
电源/功率
220V,50/60Hz,300W
可选配件
可选氧气、氮气、氢气发生器, 氢气纯度﹥99.999%,输出流量0-300ml/min
质量保证
二年质保,终身维护
- 产品优势
- CIF 扫描电镜(SEM)等离子清洗机采用远程、原位双等离子清洗源设计,并可自动切换,一机多用。远程等离子体清洗快速GX低轰击损伤,同时可实现常规等离子清洗。主要用于SEM或FIB等电镜腔体内碳氢化合物的清洗。