扫描电镜/扫描电子显微镜

供应商：天美（中国）科学仪器有限公司

产品简介日立高新AeroSurf1500 台式扫描电镜2016年，日立高新公司推出第一台大气压下扫描电子显微镜AeroSurf1500，其独特的设计可在大气压下得到清晰的扫描电子图像。产品特点1、可在大气压（105Pa）下得到SEM图像；2、台式扫描电镜设计；3、低真空下成分分析；4、优质的图像处理控制；应用领域1、食品检测；2、生物科技；3、刑侦医学；4、医药检测；5、环境监测。

供应商：聚束科技（北京）有限公司

成像速度＞10倍传统电镜 大数据智能分析 智能全倒地图生成 全自动样品载入与导航 智能图像处理

供应商：捷欧路（北京）科贸有限公司

JEOL新一代场发射扫描电子显微镜的旗舰机型。 它继承了上一代广获好评的性能如极高的空间分辨率、高稳定性、多种功能等的同时，操作性能极大简单化。该设备不依赖操作者的技能，始终能够发挥其最佳性能。

供应商：天美（中国）科学仪器有限公司

SU9000是世界上最高二次电子分辨率（0.4nm@30kV）和STEM分辨率（0.34nm@30kV）的扫描电镜。它采取了独特的真空系统和电子光学系统，不仅分辨率性能优异，而且作为冷场发射扫描电镜甚至不需要传统意义上的Flashing操作，可以快速稳定的进行超高分辨成像。​主要特点：1.  新型电子光学系统设计达到扫描电镜世界最高分辨率：二次电子0.4nm（30KV），STEM 0.34nm（30KV）。2.  用改良的高真空性能和无与伦比的电子束稳定性来实现高效率截面观察。3.  采用全新设计的Super E x B能量过滤技术，高效，灵活地收集SE / BSE/ STEM信号。 应用领域：1.      半导体器件2.      高分子材料3.      纳米材料4.      生命科学

供应商：天美（中国）科学仪器有限公司

产品介绍：　　日立全新一代热场发射扫描电镜SU5000继承了日立半导体行业扫描电镜CD-SEM高稳定性和易操作的特点，不仅具有强大的观察分析能力，同时具有全新的操作体验。SU5000既满足了专业电镜操作者对高分辨观察和分析的需求，也满足了电镜初学者对高质量图片的需求，是一台操作简便且功能强大的扫描电镜。主要特点：?　高稳定性热场发射电子枪?　全新的EM Wizard软件，无需设置参数即可获得高质量图片?　高分辨率和强大的分析能力?　样品适用性强：不导电样品直接观察（低真空功能，10-300Pa）?　全新的multi-finder功能，方便快捷的寻找样品?　附件功能强大：拉伸台，冷热台，电子束曝光，红外CCD，离子束清洁系统等。

供应商：赛默飞世尔材料与结构分析

Versa 3D DualBeam凭借多年的积累以及在 DualBeam、低真空及 ESEM; 方面取得的成功经验，FEI 推出了迄今为止功能最为丰富的 DualBeam 仪器。无论多么富有挑战性的样本，Versa 3D 都能依靠其一流的成像和分析能力提供更丰富的三维数据。Versa 3D 拥有可灵活配置的平台，可使客户充分利用系统性能满足自身的特定需求。由于同时具有高真空和低真空模式，系统可灵活处理各类样本，包括无涂层和不导电样本。选配的 ESEM 模式能对自然水化物样本执行电子束成像，还支持使用额外的动态温度阶段执行原位分析和实验。Versa 3D 的材料科学应用研发新一代产品需要借助全新的材料科学工具和功能，以便为研究人员提供所需的表征数据，从而真正了解材料如何互相作用以及哪些特性对功能至关重要。这意味着要运用三维数据采集等技术充分了解材料特性。传统上，扫描电子显微镜 (SEM) 能满足大部分研究的需要，但要研发新一代材料，则既需要 SEM 也需要聚焦离子束 (FIB) 技术。在各类不同的 SEM/FIB 仪器中，Versa 3D 具有更为丰富的功能，能够满足高级材料分析需求，尤其是非导电材料和需要在自然状态下表征的样本。如果您已经熟悉 SEM，不妨设想一下使用 DualBeam 技术和 Versa 3D 可以开展的众多其他应用。您可以在一个平台上获得更多功能，而且研究方案所受的限制也更少。Versa 3D 的电子工业应用您确切地知道自己希望样本拥有怎样的特性。借助精密制备技术，Versa 3D 可确保您获得所需的样本，并使得这一样本适合用于您打算采用的分析技术。无论采用 STEM、TEM、原子探针显微术、热台和拉力试验、EBSD 分析或亚表层特征测量中的哪一种分析，Versa 3D 都能将使用 FIB 所固有的位置特异性与易于使用的自动化软件例程结合起来，使您能够利用这个强大的平台，迅速且充满自信地获得最高质量的样本。自动化程序可最大限度减少错误，同时减少了样本制备时间，这样您就能用更少的时间，对精确制备的高质量样本开展更多的深入分析

供应商：柜谷科技发展（上海）有限公司

产品创新点 上市时间：2019年4月 此次发售的“SU3800”与“SU3900”，支持超大/超重样品的观察，特别是大型扫描电镜“SU3900”，可选配最大直径300mm *1、最大承重5kg样品(比前代机型提高2.5倍*2)的样品台，即使是超大样品也无需切割加工即可观察。 　　 同时操作性能也得到了全面升级。样品安装完成后，通过自动光路调整及各种自动功能调整图像，随后可立即获得样品图像，真正实现了快速观察。 　　 前代机型是仅仅通过CCD导航相机的单一彩色图像寻找视野*3。新机型则通过旋转样品台，分别拍摄样品各个部分，再将各个图像拼接成1张大图像，实现了大视野的相机导航观察，十分适用于超大样品的大范围观察。 产品简介 【产品背景】 在以纳米技术和生物技术为主的产业领域里，从物质的微细结构到组成成分，SEM在多种多样的观察与分析中得到了灵活应用。SEM用途日益扩大，但对于钢铁等工业材料和汽车零配件等超大/超重样品，由于电镜样品台能对应的样品尺寸和重量受到限制，所以观察时需要进行切割等加工。因此，对超大样品不施以加工处理，便可直接观察表面微细形貌和进行各种分析则成为重要的课题。 近年来为了实现各种材料的高功能化和高性能化，需要观察并优化材料的微细结构。目前SEM的应用除了以往的研究开发以外，已扩展到质量和生产管理方面，使用频率日益高涨。同时市场也对仪器的操作性能提出了更高的要求，以进一步减轻操作人员的负担。 此次发售的“SU3800”与“SU3900”，支持超大/超重样品的观察，特别是大型扫描电镜“SU3900”，可选配最 大直径300mm *1、最 大承重5kg样品(比前代机型提高2.5倍*2)的样品台，即使是超大样品也无需切割加工即可观察。同时操作性能也得到了全面升级。样品安装完成后，通过自动光路调整及各种自动功能调整图像，随后可立即获得样品图像，真正实现了快速观察。前代机型是仅仅通过CCD导航相机的单一彩色图像寻找视野*3。新机型则通过旋转样品台，分别拍摄样品各个部分，再将各个图像拼接成1张大图像，实现了大视野的相机导航观察，十分适用于超大样品的大范围观察。 【主要特点】 　　(1) 支持超大/超重样品测试 　　可搭载的最 大样品尺寸：“SU3800” 标配可搭载直径200mm样品的样品仓，可应对最 大高度为80mm、重量为2kg的样品。  “SU3900”作为日立高新技术的大型扫描电镜，标配可搭载最 大直径300mm样品的样品仓，可应对最 大高度为130mm、重量为5kg(比前代机型提高2.5倍*2)的样品 　　(2) 支持大视野观察 　　■“SU3800”与“SU3900”的最 大观察范围分别是：直径130mm、直径200mm 　　■安装有“SEM MAP”导航功能，只需在导航画面上指定观察目标位置，即可移动视野 　　■安装有“Multi Zigzag”系统，可在不同的视野自动拍摄多张高倍率图像，并将取得的图像拼接在一起，生成大视野高像素图像 　　(3) 通过自动化功能提高操作性能 　　■通过自动光路调整和各种自动化功能，样品设置完后立即可以开始观察。关于图像调整，自动功能执行时的等待时间比前代机型*4缩短了三分之一以下 　　■安装有“Intelligent Filament  Technology(IFT)”软件，自动监控钨灯丝*5的状况，显示预计的更换时期。在长时间的连续观察和颗粒度解析等大视野分析时，也可避免长时间测试过程中因钨灯丝使用寿命到期所造成的中断观察。   注：该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证，不可用于临床诊断或治疗等相关用途

供应商：柜谷科技发展（上海）有限公司

产品创新点 上市时间：2019年4月 此次发售的“SU3800”与“SU3900”，支持超大/超重样品的观察，特别是大型扫描电镜“SU3900”，可选配最大直径300mm *1、最大承重5kg样品(比前代机型提高2.5倍*2)的样品台，即使是超大样品也无需切割加工即可观察。 　　 同时操作性能也得到了全面升级。样品安装完成后，通过自动光路调整及各种自动功能调整图像，随后可立即获得样品图像，真正实现了快速观察。 　　 前代机型是仅仅通过CCD导航相机的单一彩色图像寻找视野*3。新机型则通过旋转样品台，分别拍摄样品各个部分，再将各个图像拼接成1张大图像，实现了大视野的相机导航观察，十分适用于超大样品的大范围观察。 产品简介 (1)  支持超大/超重样品测试 可搭载的最 大样品尺寸：“SU3800” 标配可搭载直径200mm样品的样品仓，可应对最 大高度为80mm、重量为2kg的样品。  “SU3900”作为日立高新技术的大型扫描电镜，标配可搭载最 大直径300mm样品的样品仓，可应对最 大高度为130mm、重量为5kg(比前代机型提高2.5倍*2)的样品 (2) 支持大视野观察 　　■“SU3800”与“SU3900”的最 大观察范围分别是：直径130mm、直径200mm 　　■安装有“SEM MAP”导航功能，只需在导航画面上指定观察目标位置，即可移动视野 　　■安装有“Multi Zigzag”系统，可在不同的视野自动拍摄多张高倍率图像，并将取得的图像拼接在一起，生成大视野高像素图像 (3) 通过自动化功能提高操作性能 　　■通过自动光路调整和各种自动化功能，样品设置完后立即可以开始观察。关于图像调整，自动功能执行时的等待时间比前代机型*4缩短了三分之一以下 　　■安装有“Intelligent Filament  Technology(IFT)”软件，自动监控钨灯丝*5的状况，显示预计的更换时期。在长时间的连续观察和颗粒度解析等大视野分析时，也可避免长时间测试过程中因钨灯丝使用寿命到期所造成的中断观察。   注：该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证，不可用于临床诊断或治疗等相关用途

供应商：柜谷科技发展（上海）有限公司

产品简介 此次推出的SU7000采用全新设计的探测器，使得对二次电子信号、背散射电子信号的检测以及分离能力大大提升。以前我们要根据不同的观察信号来调整样品与透镜之间的距离（工作距离／以下简称WD），以获得最佳的观察与分析条件，而SU7000通过新研发的样品仓以及检测器系统，可在同样的WD的条件下更高效地接收各种信号，缩短了样品观察和分析的时间，提高了测试效率。　而且，SU7000还配置了可同时6通道显示界面（前代机型只能同时显示4通道），进一步升级电镜控制系统，大幅提高了信号获取速度，由此实现了样品的高效率观察。它还标配超大样品仓，增设了附件接口，可适用于各种样品的观察与分析。 主要特点： 在相同的WD条件下，可同时实现二次电子，背散射电子观察与X射线能谱分析。 可同时实现6通道检测与显示； 成像分辨率最大可达10240x7680像素； 配置18个附件接口，支持低至300Pa的低真空模式观察；（选配）     注：该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证，不可用于临床诊断或治疗等相关用途

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产品简介 “TM4000”和“TM4000Plus”可简化从样品观察、图像确认到生成报告等一系列操作过程，大幅提高了工作效率。还标配了报告生成功能，观察结束后可十分轻松地将拍摄的图像制作成Microsoft®Word®、Excel®、PowerPoint®格式的报告。此外，选配项还可实现更多功能。可在样品仓内加装光学相机来拍摄照片，以往通过经验寻找目标位置*1，现在可在显示屏上直接操作。在拍摄SEM图像时，由于“TM4000”和“TM4000Plus”配置双轴马达台*2，原来需手动调整的操作，现在只需在显示器上选择要观察的位置即可。   *1寻找目标位置：指确认正在观察的样品位置和寻找要观察的样品位置的操作。一般情况下，电子显微镜放大倍率较高，不仅仅需要观察局部图像，还要观察整体的图像。 *2双轴马达台：根据操作人员的观察需求，可自动将样品移动到SEM图像拍摄位置的装置。   另外，在确认拍摄的SEM图像时，由于SEM图像放大倍率高，找到所有SEM图像的观察位置需要花费一定时间。而这两种机型可使用软件将低倍率和高倍率SEM图像的位置关系进行关联，并将结果显示在显示器上，使各图像的位置更为直观。   两种机型经过全新设计，尺寸和重量比前代机型更小，还可选配光学相机和双轴马达台，今后将会被应用到更广泛的领域。 产品特点 报告生成简单化 仪器支持输出Microsoft公司发行的Word®、Excel®、PowerPoint®格式，预置图像插入模板，生成报告非常简单。 可根据观察条件设置仪器 样品仓内的真空度及加速电压有多种选择，可根据需求自行设置。 简化寻找视野、图像拍摄、图像确认等一系列操作过程（选配） 通过在样品仓内安装光学相机来拍摄整个样品，可实现在显示器上观察样品的同时，寻找样品目标位置。而且，仅需在显示器上点击希望观察的位置，即可进行SEM图像拍摄。还可使用软件将低倍率和高倍率SEM图像的位置关系进行关联，并将结果显示在显示器上，使各图像的位置更为直观。   注：该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证，不可用于临床诊断或治疗等相关用途

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产品简介 "Regulus系列"是日立高新技术的FE-SEM的全新品牌，包括作为SU8010的后续机型开发的 "Regulus8100" 以及SU8200系列的升级 "Regulus8220" "Regulus8230" "Regulus8240"，共4个机型，均实现了分辨率和操作性的强化。   扫描电子显微镜（SEM）被广泛应用于纳米技术，半导体?电子行业，生命科学，材料科学等领域的材料结构观察。近年来，新一代的电子器件应用中受到广泛期待的新型碳材料，高分子材料，复合材料等的研究作为先进科学技术的中坚技术，在全世界范围内受到热捧。扫描电子显微镜广泛用于这些材料的观察?评价，但仅仅具有超高分辨率还远远不够。还要求能在低加速电压下对表面细微结构的观察和高灵敏度的元素分析。除此之外，在长期的研究过程中还追求电镜的性能的持续稳定和信赖性。   本次发布的新品牌 "Regulus系列" 电子光学系统进行了最优化处理，使得着陆电压在1kV时分辨率较前代机型提高了约20％。"Regulus8220/8230/8240"达到0.9nm，"Regulus8100"为1.1 nm的分辨率。另外，最适合低加速电压下高分辨观察的冷场电子枪可将样品的细节放大，并获得高质量的图片。最大放大倍率也由之前的100万倍提高到了200万倍。 除此之外，为了能更好的应对不同样品的测试和保持并发挥出高性能，还对用户辅助工能进行了强化，如信号检测系统的操作辅助功能，维护辅助功能等。 主要特点 搭载了色差极小的适合低加速电压高分辨率观察的冷场电子枪 跟前代机型相比分辨率大约提高了20%（Regulus8220/8230/8240：0.9 nm/1 kV，Regulus8100：1.1 nm/1 kV） 最大倍率从原来的100万倍提高到200万倍*1 用户辅助功能，帮助用户把仪器的高性能完全发挥出来 主要参数 名称 Regulus8100 Regulus8240/8230/8220 二次电子分辨率 0.8 nm（加速电压 15 kV） 0.7 nm（加速电压 15 kV） 1.1 nm（着陆电压 1 kV）*² 0.9 nm（着陆电压 1 kV）*² 加速电压 0.5~30 kV 0.5~30 kV 着陆电压*² 0.1~2 kV 0.01~20 kV 倍率 20~1,000,000倍*³ 20~2,000,000倍*³ 马达台控制 3轴自动*⁴ 5轴自动 *¹ 仅限 Regulus8240/8230/8220 *² 减速模式观察 *³ 127 mm × 95 mm 视野的画面倍率 *⁴ 5轴马达台为选配项 注：该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证，不可用于临床诊断或治疗等相关用途

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产品简介 "Regulus系列"是日立高新技术的FE-SEM的全新品牌，包括作为SU8010的后续机型开发的 "Regulus8100" 以及SU8200系列的升级 "Regulus8220" "Regulus8230" "Regulus8240"，共4个机型，均实现了分辨率和操作性的强化。    扫描电子显微镜（SEM）被广泛应用于纳米技术，半导体?电子行业，生命科学，材料科学等领域的材料结构观察。近年来，新一代的电子器件应用中受到广泛期待的新型碳材料，高分子材料，复合材料等的研究作为先进科学技术的中坚技术，在全世界范围内受到热捧。扫描电子显微镜广泛用于这些材料的观察?评价，但仅仅具有超高分辨率还远远不够。还要求能在低加速电压下对表面细微结构的观察和高灵敏度的元素分析。除此之外，在长期的研究过程中还追求电镜的性能的持续稳定和信赖性。   本次发布的新品牌 "Regulus系列" 电子光学系统进行了最优化处理，使得着陆电压在1kV时分辨率较前代机型提高了约20％。"Regulus8220/8230/8240"达到0.9nm，"Regulus8100"为1.1 nm的分辨率。另外，最适合低加速电压下高分辨观察的冷场电子枪可将样品的细节放大，并获得高质量的图片。最大放大倍率也由之前的100万倍提高到了200万倍。 除此之外，为了能更好的应对不同样品的测试和保持并发挥出高性能，还对用户辅助工能进行了强化，如信号检测系统的操作辅助功能，维护辅助功能等。 主要特点 搭载了色差极小的适合低加速电压高分辨率观察的冷场电子枪 跟前代机型相比分辨率大约提高了20%（Regulus8220/8230/8240：0.9 nm/1 kV，Regulus8100：1.1 nm/1 kV） 最大倍率从原来的100万倍提高到200万倍*¹ 用户辅助功能，帮助用户把仪器的高性能完全发挥出来 主要参数 名称 Regulus8100 Regulus8240/8230/8220 二次电子分辨率 0.8 nm（加速电压 15 kV） 0.7 nm（加速电压 15 kV） 1.1 nm（着陆电压 1 kV）*² 0.9 nm（着陆电压 1 kV）*² 加速电压 0.5~30 kV 0.5~30 kV 着陆电压*² 0.1~2 kV 0.01~20 kV 倍率 20~1,000,000倍*³ 20~2,000,000倍*³ 马达台控制 3轴自动*⁴ 5轴自动 *¹ 仅限 Regulus8240/8230/8220 *² 减速模式观察 *³ 127 mm × 95 mm 视野的画面倍率 *⁴ 5轴马达台为选配项 注：该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证，不可用于临床诊断或治疗等相关用途

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产品简介 日立高新技术公司于2016年4月15日在全球发布了新型扫描电子显微镜——FlexSEM 1000。该产品结构紧凑，占地面积小，但分辨率不输大型电镜，同时操作极其简便，几乎不用培训就可操作。紧凑型设计，分辨率为4 nm。 扫描电子显微镜可对材料的表面进行高倍率观察及高精度元素分析，在纳米技术、生命科学、产品设计研发及失效分析等领域有着广泛的应用。 近年来，扫描电镜观察表面精细结构及元素分析的需求日趋增加，而越来越多的用户希望能在生产线、品保检验线和办公区等有限的空间里使用扫描电子显微镜。因此，体积小、操作简便、分辨率高的扫描电子显微镜备受关注。FlexSEM 1000主机宽450mm、长640mm，相比SU1510型号体积减小52%，重量减轻45%，功耗减小50%，且配备标准化的电源接口。主机与供电单元可分离，安装非常灵活。 FlexSEM 1000采用最新设计的电子光学系统和高可靠性、高灵敏度的探测器，分辨率高达4nm。FlexSEM 1000有多种自动化功能，操作简便，即便是初次操作者也能快速拍出高质量图像。另外，新开发的导航功能「SEM MAP」可使用各种光学图片或电镜照片进行导航，一键就快速精准地切换至感兴趣的高倍率视野。 特点： a. 通过高灵敏度二次电子探测器，背散射探测器，低真空探测器（UVD*2），实现低加速电压/低真空下高质量图像观察 b. 操作简捷，即使新手也能拍出高质量的图片 c. 新开发的导航功能「SEM MAP」，便于快速锁定视野 d. 大窗口（30 mm2）SDD能谱系统，便于快速分析元素成分*2 *1     设置在桌面时，分离主机和电源箱 *2     选配 项目 内容 分解能*3 4.0 nm @ 20 kV （SE：高真空模式） 15.0 nm @ 1 kV （SE：高真空模式） 5.0 nm @ 20 kV （BSE：低真空模式） 加速电压 0.3 kV ～ 20 kV 放大倍率 6× ～ 300,000× （底片倍率） 16× ～ 800,000× （显示倍率） 低真空模式 真空范围：6 ～ 100 Pa 电子枪 预对中钨灯丝 样品台 3-轴自动马达台 X：0 ～ 40 mm, Y：0 ～ 50 mm, Z：5 ～ 15 mm R：360°, T：-15° ～ ＋90° 最大样品尺寸 直径80 mm 最大样品高度 40 mm 尺寸 主机：450（W） x 640（D） x 670（H） mm 供电单元：450（W） x 640（D） x 450（H） mm 探测器选配 高灵敏度低真空二次电子探测器（UVD） 能量分散型X线探测器（EDS）   注：该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证，不可用于临床诊断或治疗等相关用途

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产品简介 日立高新热场式场发射扫描电镜SU5000 --搭载全新用户界面，向所有用户提供高画质图像-- 日立高新技术公司（以下简称：日立高新）8月4日开始发售的肖特基式场发射 扫描电子显微镜"SU5000"，搭载了全新的用户界面和"EM Wizard"，无论用户的操作技巧是否娴熟都可以拍出好的照片。 扫描电子显微镜在纳米技术领域、材料领域、医学生物等领域均被广泛使用。但随着近年来仪器性能的大幅提升，以及用户群体的不断扩大，使得用户对不需要任何经验和技术就能得到好照片的需求迅速扩增。而且，由于观察对象的样品的不断多样化，对样品的大小和性质的无制约观察变得尤为重要。  这次新开发的"SU5000"对用户没有任何操作技巧上的要求，通过”EM Wizard“只要选择好观察目的就可以得到好照片。"EM Wizard"以人为本的设计理念使电镜的操作性大幅上升，对于用户来说，再也不用去讨论该用什么条件进行观察，只要按照观察目的选择”表面细节观察“或是”成分分布“等就可以自动将适合的观察条件设置好。除此之外，使用经验丰富的操作人员也可以像往常一样自由的选择观察条件，按照自己的操作习惯进行设置。”EM Wizard“对于初学者或者使用经验尚浅的客户来说，它独有的操作简易性和各种学习工具可以帮助您迅速成长起来；对使用经验丰富的客户来说，开放了丰富的可设置选项，会令您操作起来更加得心应手。这正是"EM Wizard"的价值所在。 另外"SU5000"的寻找视野功能"3D MultiFinder"更是独一无二的。不但可大幅提高做样速度，更使视野再现性得到大大提高。并且，为了能适应各种分析的需求，最大束流可达到200nA。再加上全新设计的背散射电子探头和低真空二次电子探头等，都使该款电镜无论在是观察样品还是分析都具备了超强的功能与强大的扩展性。  日立高新在8月3日至8月7日在美国康涅狄格州举办的"Microscopy & Microanalysis"，9月3日至9月5日在日本千叶县幕张国际展览中心举办的"JASIS 2014"，9月7日至9月12日在捷克举行的"18th International Microscopy Congress"上都做了实机展出。 *：肖特基式场发射电子显微镜：高亮度、大束流、超强稳定性汇聚一身肖特基式场发射电子显微镜。分辨率高和可做各种定量定性分析。 【主要参数】   电子枪 ZrO/W 肖特基式场发射电子枪 加速电压 0.5~30kV 着陆电压 0.1~2kV 分辨率 2.0nm@1kV（*1）、1.2nm@30kV、3.0nm@15kV 低真空模式（*2） 放大倍率 底片倍率：10~600000倍、显示倍率：18~1000000倍 5轴马达台 X：0~100mm、Y：0~50mm、Z：3~65mm、T：-20~90°、R：360°  *1：减速模式是选配项     *2：低真空模式是选配项   2014年，日立高新技术公司（以下简称：日立高新） 新型肖特基场发射扫描电镜*"SU5000"作为工业用设备荣获由公益财团法人日本设计振兴会颁发的GOOD DESIGN AWARD 2014”(2014年度最佳设计奖)。 注：该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证，不可用于临床诊断或治疗等相关用途

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产品简介 日立高新高画质的钨灯丝扫描电镜SU3500, 图象质量更进一步。 通过高画质提升扫描电镜的分析能力和操作性, 凝聚日立最先进科技“独具匠心”。 日立高新钨灯丝扫描电镜SU3500具有实现了“3kV加速电压7nm分辨率”的全新电子光学系统, 可实现实时立体成像的“实时立体观察功能”＊1, 以及更高检测效率的 “UVD超高灵敏度可变压力检测器”＊1。 它为观察和分析提出了崭新的标准。 特点 低加速电压观察时分辨率更高，可更好地观察样品最表面的细微形状和更有效地降低样品的损坏 全新设计的电子光学系统和信号处理技术实现了高速扫描和低噪音的观察 和以前的常规扫描电子显微镜相比＊2，自动功能缩短＊3了大约11秒 具有在低真空时可以非常好地观察样品最表面的细微形状的“UVD（超高灵敏度可变压力探测器）”＊4 具有实现了实时立体成像的“实时立体观察功能”＊4 （*1）：自选 （*2）：和日立SEM S-3400N相比 （*3）：根据观察条件的不同，时间会有变动 （*4）：自选 规格   项目 描述 二次电子分辨率 3.0nm（加速电压=30kV，WD=5mm高真空模式） 7.0nm（加速电压=3kV，WD=5mm高真空模式） 背散射电子分辨率 4.0nm（加速电压=30kV，WD=5mm低真空模式） 10.0nm（加速电压=5kV，WD=5mm高真空模式） 放大倍率 5 - 300,000倍（底片倍率＊5） 7 - 800,000倍（显示器显示倍率＊6） 加速电压 0.3 - 30kV 可变压力范围 6 - 650Pa 最大样品尺寸 直径 200mm 样品台 X 0 - 100mm Y 0 - 50mm Z 5 - 65mm R 360° T -20° - 90° 可观察区域 直径 130mm （旋转并用） 最大样品高度 80mm（WD=10mm） 马达台 5轴标配 电子光学系统 电子枪 预对中的钨灯丝 物镜光阑 4孔可动光阑 探检测器 埃弗哈特 索恩利 二次电子探测器 高灵敏度半导体背散射电子检测器 EDX分析 WD 10mm（取出角35°） 图像显示 操作系统 Windows® 7＊7（如有更改，恕不另行通知） 图像显示模式 全屏模式（1,280 × 960 像素） 小屏模式（800 × 600 像素） 双图像显示（800 × 600 像素） 四屏幕显示（640 × 480像素） 信号混合模式 排气系统 操作 全自动排气 涡轮分子泵 210升/秒 × 1 机械泵 135L/min（162L/min，60Hz）× 1 （*2）：以127mm×95mm（图像尺寸4"×5"）的显示尺寸规定倍率 （*3）：以345mm×259mm（像素1,280×960）的显示尺寸规定倍率 （*4）：Windows®是微软公司在美国和其他国家的注册商标 注：该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证，不可用于临床诊断或治疗等相关用途

供应商：柜谷科技发展（上海）有限公司

日立高新扫描电子显微镜S-3700N适合用于研究大件，较重，较高的样品。   ▲最大样品直径达300mm。 ▲可观察范围直径达203mm。 ▲可对高达110mm的样品进行观察和能谱分析。 ▲通用型接口布局满足各种分析用途。   特点 特大型的样品室可装载最大直径达300 mm的样品，还可同时安装EDX/WDX/EBSD等配件。其可载样品高度可达110 mm。 5轴马达驱动优中心倾斜、旋转、图像导航系统、样品台追踪、轨迹存储与中心复位等样品台的马达控制功能一应俱全。 S-4800，SU-70及S-3400N均具有用户友好的GUI设计，这使得操作者经过简单培训即可操作。 显示系统有全屏显示，无闪烁，高像素和实时图像显示等优异的性能，它还可以实时信号混合并同时显示两个不同的检测器观测到的互不相同的样品信息。 可变压模式不需要金属喷涂，可以直接观察不导电样品。 高灵敏度半导体背散射电子检测器可以在快速扫描模式下运行，这使得寻找大尺寸样品中感兴趣的区域更为简单和便利。 标准配备涡轮分子泵(TMP)，其清洁和干燥的真空条件最大限度地减少了样品污染。区别于传统的扩散泵扫描电子显微镜，此款产品不需较大的加热功率或循环水箱，从而使得它成为一款节能，生态环保的扫描电子显微镜。 规格 项目 描述 分辨率 二次电子分辨率 30kV时，3.0nm(高真空模式) 3kV时，10nm(高真空模式) 背散射电子分辨率 30kV时，340nm(低真空模式) 放大倍率 ×5-×300，000 加速电压 0.3-30KV 低真空范围 6-270pa图形菜单 图像移动 ±50μm（WD=10mm） 最大样品尺寸 Ф300mm 样品台 X 150mm Y 110mm Z 5-65mm R 360° T -20°-90° 观测区域 Ф203mm（可旋转） 最大高度 110mm（WD=10mm） 样品台控制 计算机控制5轴马达驱动优中心 电子光学 电子枪 预对中钨灯丝 物镜光阑 可移动式4孔物镜光阑 枪偏压 带可控4偏压 检测器 埃弗哈特 索恩利二次电子检测器 高灵敏度半导体背散射电子探测器，五分割 分析位置 WD=10mm 取出角=35° 显示器 自动合轴 自动设定束流，自动合轴 自动图像调整 自动聚焦，自动消像散/聚焦，自动调整亮度和对比度 存储图像精度 640×480像素，1280×960像素，2560×1920像素，5120×3840像素 图像文件格式 BMP，TIFF，JPEG 图像显示模式 全屏显示1280×960像素，小屏显示640×480像素， 双屏显示640×480像素×2，信号混合模式 真空系统 操作 全自动程序 涡轮分子泵 210L/sec.×1 机械泵 135L/min.(162L/min.60Hz)×1 安全措施 断电保护，漏电保护 辅助功能 光栅旋转，动态消像散 动态聚焦/倾斜补偿功能 自由排版打印功能，字母/数字功能 三维动画维修指南 导航，测量方便，倾斜画面 注：该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证，不可用于临床诊断或治疗等相关用途

供应商：柜谷科技发展（上海）有限公司

日立高新超高分辨率场发射扫描电子显微镜SU9000是专门为电子束敏感样品和需最大300万倍稳定观察的先进半导体器件，高分辨成像所设计。 新的电子枪和电子光学设计提高了低加速电压性能。 0.4nm / 30kV（SE） 1.2nm / 1kV（SE） 0.34nm / 30kV（STEM） 用改良的高真空性能和无与伦比的电子束稳定性来实现高效率截面观察。 采用全新设计的Super E x B能量过滤技术，高效，灵活地收集SE / BSE/ STEM信号。     注：该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证，不可用于临床诊断或治疗等相关用途

供应商：复纳科学仪器（上海）有限公司

飞纳台式扫描电镜高分辨率专业版 Phenom Pro 是一款快捷，出众，可靠的电镜成像分析设备，拥有独特的台式扫描电子显微镜设计，创新型用户使用界面，直观的触控设置，全自动操作。提供在诸多领域中要求的高分辨率以及高质量分析成像。高性价比、操作简便、快速成像的飞纳台式扫描电镜成为工程师，技术员，研究员以及科教专家观测微米以及纳米结构的首要选择。

供应商：复纳科学仪器（上海）有限公司

飞纳台式扫描电镜是一款快捷，出众，可靠的电镜成像分析设备，拥有最佳的台式扫描电子显微镜设计，创新型用户使用界面，直观的触控设置，全自动操作。提供在诸多领域中要求的高分辨率以及高质量分析成像。高性价比、操作简便，快速成像的飞纳台式扫描电镜成为工程师，技术员，研究员以及科教专家观测微米以及纳米结构的首选。

供应商：天美（中国）科学仪器有限公司

TM4000PlusⅡ是在TM4000Ⅱ基础上增加高灵敏度低真空二次电子探头UVD，该探头在低真空环境下具有很好的成像质量。TM4000PlusⅡ可将二次电子图像和背散射电子图像叠加并实时进行显示，获得最多的样品信息。TM4000PlusⅡ可以选配Multi Zigzag功能，可实现大范围自动连续拍照和自动拼图功能。

供应商：捷欧路（北京）科贸有限公司

JSM-7200F的电子光学系统应用了日本电子旗舰机-JSM-7800F Prime采用的浸没式肖特基电子枪技术，标配了TTLS系统（Through-The-Lens System），因此无论是在高/低加速电压下，空间分辨率都比传统机型有了很大的提升。

供应商：捷欧路（北京）科贸有限公司

JCM-7000是以"谁都可以操作的SEM/EDS"为理念的台式扫描电子显微镜， 标配Zeromag、Live analysis、 Live 3D功能。

供应商：赛默飞世尔材料与结构分析

采用最佳电子和离子光学系统、配件和软件，能够为尖端纳米量级研究提供强大的解决方案。 借助极具价值的亚纳米 SEM 成像技术、S/TEM 超薄样本制备能力以及最精确的原型设计功能。 Helios NanoLab 是一款极其灵活的平台，既能以极高的效率制备 TEM 样本，又能开展高性能低电压成像以分析高级逻辑和存储器件 自动化序列样本铣削和成像功能，客户可以创建二维序列图像，进而开展三维容积重建。根据这些数据，客户可以在微米至纳米量级别观测和量化孔隙网络等纹理。 Helios NanoLab 具有卓越的 SEM 性能和可靠、精确的 FIB 切片能力，还配备了高精度压电工作台，堪称小型 DualBeam 平台的极致之选。出色的成像能力，辅以透镜内和柱内检测器提供的尖端高对比度检测技术，能够实现真正卓越的对比度。

供应商：天美（中国）科学仪器有限公司

体积小、操作简单、性能强（4nm@20kV）、扩展功能丰富 拥有多个探测器（SE、BSE） 拥有低真空功能，不导电和含水样品直接观察

供应商：天美（中国）科学仪器有限公司

1.选配顶端过滤器，可实现良好的成分对比度； 2.优异的扩展功能，可附加多种功能附件。

供应商：天美（中国）科学仪器有限公司

1. 配备加速电压减速功能，优秀的低加速电压成像能力，1kV分辨率可达0.8nm 2. 日立专利E×B技术，无需喷镀，可直接观测不导电样品

供应商：天美（中国）科学仪器有限公司

在相同WD的条件下，可同时实现二次电子、背散射电子观察与X射线分析 最多可同时实现6通道检测与显示 可配置18个附件接口

供应商：天美（中国）科学仪器有限公司

HexBias偏压钨灯丝电子枪； 优异的高、低电压性能； 高灵敏度五分割背散射电子探测器； 可变压力二次电子探测器（高、低真空可用）。

供应商：天美（中国）科学仪器有限公司

全自动灯丝设定和合轴； 报告导出和图片处理； 可集成的EDS； 简单方便的维护（灯丝更换视频）。

供应商：似空科学仪器（上海）有限公司

～从生物医学到材料领域～ 以创新的操作性，满足广泛领域的需求。 新一代TEM"RuliTEM"诞生。

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专用扫描透射显微镜HD-2700，配备了与德国CEOS GmbH公司(总经理Max Haider先生)共同开发的球差校正仪，显著提高了扫描透射电子显微镜的性能，更适合高级纳米技术研究。由于球差校正系统校正了限制电子显微镜的性能的球差，使其与标准型号显微镜相比，分辨率提高了1.5倍，同时，探针电流提高了10倍。

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Hitachi的扫描电子显微镜 FlexSEM 1000「先进的SEM设计得更加紧凑」 只有45厘米宽的紧凑型设计，实现了4.0 nm的分辨率。 全新开发的用户界面和电子光学系统，使性能大幅提升。

供应商：似空科学仪器（上海）有限公司

Hitachi的扫描电子显微镜 AeroSurf 15 不仅可在真空下，还可在大气压下进行SEM观察 含水样品也无需前处理即可直接观察

供应商：似空科学仪器（上海）有限公司

日立驰名的冷场发射电子源和300 kV加速电压技术共同打造了超高分辨率成像和高灵敏度分析功能。双棱镜全息技术，空间分辨电子能量损失谱以及高精度平行纳米电子束衍射技术开辟了高效，高精度样品分析的新途径。

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发射扫描电子显微镜ReguluS

供应商：似空科学仪器（上海）有限公司

MirrorCLEM是一个可简便观察光学显微镜和扫描显微镜同一位置的CLEM*1用系统。