电子光学仪器

由电子光学系统和其他机电系统构成的，应用电子光学原理达到观察、分析等目的的仪器。是一种直接观察研究物质微观形貌，成份和结构与其宏观性能（功能）之间关系的一类大型精密仪器。在材料科学、纳米科学技术、生命科学技术、物理、化学、医学、微电子学、半导体大规模集成电路制造等科技领域以及临床诊断、刑事侦破、考古和工农业生产中得到了广泛的应用。