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日本日立 高分辨环境透射电镜H-9500

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产品特点

在精细加工技术已进入到亚纳米水平的半导体,先进材料的研发领域,原子分辨率电子显微镜正在成为日益重要的,不可或缺的工具。

详细介绍

原子分辨率300 kV透射电子显微镜

在精细加工技术已进入到亚纳米水平的半导体,先进材料的研发领域,原子分辨率电子显微镜正在成为日益重要的,不可或缺的工具。
为了满足这种高端需求,日立高新技术公司研发出了 H-9500透射电子显微镜,此款高分辨透射电子显微镜不仅具备实地验证过的各种性能,而且配置了很多满足客户多种需求的特功能,并采用了zui新的数字技术,便于用户及时快速获取原子水平的样品结构信息。


用户友好型的操作系统

  • 和Windows®兼容的图形用户界面设计

  • 快速的样品分析,1分钟换样,5分钟内升高压至(300 kV)

  • 高稳定性,高分辨率透射电子显微镜

高稳定性,高分辨率透射电子显微镜

  • 点分辨率为0.18 nm,晶格分辨率为0.1 nm

  • 稳定可靠的5轴优zhong心测角台

  • 性能优异,可靠性高

性能优异,可靠性高

  • 得到市场验证的10加速器电子枪设计

  • 阻抗式高压电缆设计

  • gao档可选附件

gao档可选附件

  • 通用样品杆,在日立公司的TEM, FIB 和 STEM系统均可使用

  • 可为原子分辨率的动态研究提供加热,冷却和气体注入等多种样品杆

备注:FPD(平板显示器)上的图像为模拟图像。


规格

项目说明
分辨率0.10nm(晶格分辨率)
0.18nm(点分辨率)
加速电压300kV、200kV*1、100kV*1
放大倍率连续放大模式1,000~1,500,000×
选区模式4,000~500,000×
低倍模式200~500×
电子枪灯丝LaB6(六硼化镧灯丝,直流加热)
灯丝交换自动升降式电子枪
高压电缆阻抗电缆
照射系统透镜四透镜
聚光镜光阑4孔可变
探针尺寸微米束模式:0.05 - 0.2 μm(4)
纳米束模式:1 - 10 nm(4)
电子束倾斜±3°
成像系统透镜五透镜
聚焦图像摇摆调整
利用像散监视器进行正焦补偿
聚焦优化
物镜光阑4孔可变光阑
选区光阑4孔可变光阑
电子衍射 选区电子衍射
纳米探针电子衍射
会聚束电子衍射
相机长度250 - 3,000 mm
样品室样品台5轴优zhong心海帕测角台
样品尺寸3mmΦ
样品位置追踪X/Y = ±1mm, Z = ±0.3 mm
通过CPU控制马达驱动
样品位置显示自动驱动,自动跟踪
样品倾斜α = ±15°, β = ±15°
(日立双倾样品台*2)
防污染冷阱
烘烤功能中温烘烤功能
观察室荧光屏主屏:110 mmΦ
聚焦屏:30 mmΦ
目镜7.5×
照相室区域选择整张照相/半张曝光
胶片25张(2套胶片盒)
图形用户界面 操作系统:Windows XP®
显示器19英寸显示器
功能数据库,测量,图像处理
数码CCD 相机*3相机耦合透镜耦合
有效像素1,024 × 1,024 像素
A/D 分辨率12位
真空系统电子枪离子泵:60 L/s
镜筒涡轮分子泵:260 L/s
观察室/照相室扩散泵:280 L/s
前泵:135 L/min × 3台
  • *1:放大倍率校准为可选项

  • *2:可选件

  • *3:本规格适用于可选的1,024 × 1,024像素的数码CCD相机

以上规格是在加速电压为300 kV时的承诺



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