| 项目 | 说明 | |
| 分辨率 |
0.10nm(晶格分辨率) 0.18nm(点分辨率) |
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| 加速电压 | 300kV、200kV*1、100kV*1 | |
| 放大倍率 | 连续放大模式 | 1,000~1,500,000× |
| 选区模式 | 4,000~500,000× | |
| 低倍模式 | 200~500× | |
| 电子枪 | 灯丝 | LaB6(六硼化镧灯丝,直流加热) |
| 灯丝交换 | 自动升降式电子枪 | |
| 高压电缆 | 阻抗电缆 | |
| 照射系统 | 透镜 | 四级透镜 |
| 聚光镜光阑 | 4孔可变 | |
| 探针尺寸 |
微米束模式:0.05 - 0.2 μm(4级) 纳米束模式:1 - 10 nm(4级) |
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| 电子束倾斜 | ±3° | |
| 成像系统 | 透镜 | 五级透镜 |
| 聚焦 |
图像摇摆调整 利用像散监视器进行正焦补偿 聚焦优化 |
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| 物镜光阑 | 4孔可变光阑 | |
| 选区光阑 | 4孔可变光阑 | |
| 电子衍射 |
选区电子衍射 纳米探针电子衍射 会聚束电子衍射 |
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| 相机长度 | 250 - 3,000 mm | |
| 样品室 | 样品台 | 5轴优中心海帕测角台 |
| 样品尺寸 | 3mmΦ | |
| 样品位置追踪 | X/Y = ±1mm, Z = ±0.3 mm通过CPU控制马达驱动 | |
| 样品位置显示 | 自动驱动,自动跟踪 | |
| 样品倾斜 | α = ±15°, β = ±15°(日立双倾样品台*2) | |
| 防污染 | 冷阱 | |
| 烘烤功能 | 中温烘烤功能 | |
| 观察室 | 荧光屏 | 主屏:110 mmΦ 聚焦屏:30 mmΦ |
| 目镜 | 7.5× | |
| 照相室 | 区域选择 | 整张照相/半张曝光 |
| 胶片 | 25张(2套胶片盒) | |
| 图形用户界面 | 操作系统 | Windows XP |
| 显示器 | 19英寸显示器 | |
| 功能 | 数据库,测量,图像处理 | |
| 数码CCD 相机*3 | 相机耦合 | 透镜耦合 |
| 有效像素 | 1,024 × 1,024 像素 | |
| A/D 分辨率 | 12位 | |
| 真空系统 | 电子枪 | 离子泵:60 L/s |
| 镜筒 | 涡轮分子泵:260 L/s | |
| 观察室/照相室 |
扩散泵:280 L/s 前级泵:135 L/min × 3台 |
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TEM显微镜用于高生产率、高分辨率的TEM和具有化学定量的STEM表征。
适用于高分辨率 TEM 和 STEM 以及准确化学定量的 TEM 显微镜。
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The Talos L120C TEM 的平台式设计具备了模块多功能化,ZG的稳定性及操作的便捷性,从而提供可靠的ZJ成像性能。
ELITE 是DY款可为二维和三维器件提供动态无损实时 LIT 的完全集成系统。作为市场领导者,ELITE 系统的设计采用专有的高灵敏度 InSb 摄像头、定制光学器件和高级算法,具有出众的性能,并可以在Z短时间内获得结果,通过为失效分析工程师提供根本原因分析所需的关键信息,有效缩短分析学习的周期。
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完全集成飞秒激光系统的Thermo Scientific Helios 5 Laser PFIB,这是一台先进的聚焦离子束扫描电子显微镜(FIB-SEM),可以利用纳米级分辨率实现快速3D表征毫米尺度材料。
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