产品简介
日立 扫描探针显微镜 AFM100 是为了推动具有高操作性的AFM装置在工业领域和科学研究开发领域实现普及,提高总处理量和可靠性。
功能特点
1.提高了操作性、可靠性及总处理量
为简化过去操作繁琐的悬臂更换,采用新开发的预装方式*1悬臂,提高了操作性。而且,通过配备自动向导功能,还可以根据样品的表面形貌,自动设置zui佳测量条件,对探针进行接触状态控制和扫描速度调整等,任何人测量都可以得到稳定的结果,从而提高了数据的可靠性。此外,该机型支持自动多点测量,只需点击一下,从测量,到图像数据分析、保存可一次性完成,大大缩短了数据测量分析时间。
2.提高了与本公司SEM装置的亲和性
选配功能“AFM标记功能”通过采用日立高新技术自主开发的SÆMic.(SÆMic:AFM-SEM相关显微镜法)观察方法,提高了与扫描电子显微镜SEM(Scanning Electronic Microscope)的亲和性。在观察样品的同一位置时,可以充分发挥各个设备的特性,对样品进行机械特性、电气特性、成分分析等检测,易于开展多方面分析。
3.实现装置的扩展性和持续性
为确保用户可长期使用,该装置标配控制软件免费下载服务和能够自行诊断意外故障因素的自检功能。因此,用户只需自己动手进行软件升,即可始终保持zui新性能。
*1预装方式:在用于安装悬臂的盒式芯片上预先安装悬臂的方式。
规格
| 项目 | AFM100 | |
| 检测系统 | 光杠杆法 SLD(超辐射发光二管) | |
| 样品架 | 预安装支架※、多支架※ | |
| 基本规格 | RMS噪音水平:≦0.03 nm、基线漂移:≦0.03 nm/sec | |
| 样品尺寸 | 大35 mmφ、厚度10 mm、选配扩展时(大50 mm方形、厚度20 mm)※ | |
| 扫描器(扫描范围)※ | (XY:20 µm/Z:1.5 µm、XY:100 µm/Z:15 µm、XY:150 µm/Z:5 µm)※(5年保修) | |
| 光学显微镜 | 普通光学顕微鏡 (视野XY:1.6×1.2 mm) | |
| 基本功能 | AFM、DFM、PM、FFM、SIS-形状 | |
| 隔振・隔音方式 | 桌上型隔振台 | |
| 样品载物台 | 手动载物台 XY:±2.5 mm、移动载物台(导电型)※ | |
| 测试环境 | 空气、液体※、加热※(室温~250℃)、液体加热※(室温~60℃) | |
| 其他功能 | 自检功能、软件下载服务、AFM标记※ | |
| 电源规格 | AC 100 V±10 V、15 A、1系统、D种接地 接地插座 | |
※ 表中※标注部分为可选配置。
* 详细规格请查看产品规格。
基本规格值必须符合安装环境标准。
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