日立 AFM100 系列多功能扫描探针显微镜

日立 AFM100 系列是面向研发 / 生产 / 教育的通用型扫描探针显微镜（SPM），含 AFM100、AFM100 Plus、AFM100 Pro 三款，核心优势为高易用性、低噪声与多模态联用，覆盖从常规形貌到原子级物性测量的需求。以下是关键信息：

系列型号与定位

核心架构与性能

1. 检测与驱动

• 基础款（AFM100/Plus）：光杠杆检测（SLD 光源），RMS 噪声≤0.03 nm，面内漂移≤0.03 nm/s，预装悬臂（Premount holder）实现快速无损伤更换hitachi-hightech.com。

• 高端款（Pro）：高灵敏光学探头 + 光热激励，位移检测噪声降至 35 fm/√Hz，可稳定控制悬臂亚纳米级振动，适配液体环境高分辨与原子级测量hitachi-hightech.com。

2. 扫描与样品

• 扫描范围（可选）：XY/Z=20/1.5、100/15、150/5 μm（单位）hitachi-hightech.com。

• 样品尺寸：最大 35 mmφ（厚 10 mm），可选扩展至 50 mm²（厚 20 mm）hitachi-hightech.com。

• 环境适配：大气、液中、加热（室温‑250℃）、液中加热（室温‑60℃，AFM100 Plus 可选）hitachi-hightech.com。

核心功能亮点

1. Autopilot 一键自动流程：自动设置测量条件、扫描、分析与保存，大幅提升通量，降低新手门槛hitachi-hightech.com。

2. AFM‑SEM‑EDS 多模态联用：通过 SÆMic 标记功能，精准定位同一观测区域，实现形貌、成分与力学性能的关联分析hitachi-hightech.com。

3. 低损伤与高稳定：预装悬臂避免更换损伤；Pro 款光热激励减少传统压电驱动的噪声与干扰，适配软材料、二维材料等敏感样品hitachi-hightech.com。

4. 智能辅助：自带导航软件与自校准，支持自动多点测量，适配批量样品检测hitachi-hightech.com。

典型应用场景

• 材料科学：薄膜厚度 / 粗糙度测量、纳米结构表征、复合材料界面分析。

• 半导体：芯片表面缺陷检测、光刻胶图形形貌、封装材料力学性能。

• 生命科学：液体环境下生物大分子（如 DNA、蛋白质）形貌与力学测量（Pro 款适配）。

• 新能源：电池电极材料孔隙率、催化剂颗粒分布与粒径统计。

选型与注意事项

1. 按需求选型号：常规形貌选 AFM100；需多环境与扩展功能选 Plus；原子级物性与高精度测量选 Pro。

2. 环境与样品：液体 / 高温测量需选配对应模块；非导电样品建议搭配导电处理附件。

3. 联用需求：需 AFM‑SEM‑EDS 关联分析时，提前预留接口并配置标记功能模块。