标准配备改良过的测量参数自动调整功能,以及简单明了的图形用户界面。因此,即使是刚刚接触SPM的人,或者测量某种全新的样品时,也能取得具有较高再现性的数据。
· 图标说明
*RealTune是日立高新技术科学股份公司在日本的注册商标。
· 特点
1. RealTune®II zui新的测量参数自动调整功能
· 提升独有的测量参数自动调整功能!此系列开发出一种全新的处理方法,可预测并调整悬臂的振动振幅、动作频率等主要参数。其通过对样品表面的形状、扫描区域、使用的悬臂及扫描仪等的综合评价,高效率、高精度地调整成zui合适的测量条件。
· 通过新增加了振幅调整功能的测量参数自动调整功能(RealTune®II),可实现一键(One Click)测量。原来需要熟练操作的测量,现在没有经验的操作员也可以简单地操作。
· 也可用于很难调整参数的样品。

【实例1】纤维状的碳纳米管结构体(壁虎胶带)
【样品提供:日东电工股份公司】
此前的方法此种样品需要对参数进行精细的调整,操作困难,并且柔软的纤维易变形产生皱痕。
新处理方法自动调整成zui合适的参数,可在复杂的纤维结构不变形的前提下进行测量。

【实例2】用于有机薄膜晶体管的多结晶薄膜(并五苯多结晶薄膜)
【样品提供:神户大学北村研究室】
此前的方法此款样品表面容易损坏,易产生皱痕、step的轮廓也不明确。
新处理方法自动调整为zui合适的参数,稳定地测量分子级别上的step结构。

2. 新图形用户界面(Graphical Use Interface)
简单菜单
· 简单明了易懂的图标、严格筛选的显示信息,无论是无经验者还是熟练操作员,都能够方便地操作!
· 可通过选项卡在测量及分析作业领域之间切换,画面简洁明了。可有效地广泛使用。


3. 3D覆盖功能
能够将样品形状图像及物理性质图像重合起来显示,并能进一步构画出3D图像,可以通过视觉形象地感受样品的物理性质的分布。

4. 凹凸分析、剖面轮廓分析功能
具备凹凸分析、剖面轮廓分析等多样化的分析功能。

5. 小型化设计
外形更轻便、更小型化,适合各种放置场所。220mm(W)×500mm(D)×385mm(H)、約15kg

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高精度探针针尖变量的亚埃米级表面粗糙度测量,晶圆的表面粗糙度对于确定半导体器件的性能是至关重要的,对于先进的元件制造商,芯片制造商和晶圆供应商都要求对晶圆商超平坦表面进行更精确的粗糙度控制。
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CSI是一家法国科学设备制造商,拥有专业的AFM设计概念,以及为现有的AFM提供设计选项。它避免了激光对准需要预先定位针尖的系统,针尖/样品的顶部和侧视图,结合垂直的马达控制系统,使预先趋近更加容易。
EM-AFM可在SEM中同时提供原子力显微镜成像和纳米机械测量。它综合了这两种技术的优点,可高速获得高分辨率的三维图像,并且在微纳米和亚纳米尺度上实时观察纳米级力的相互作用,与常规SEM/FIB兼容,