Accurion RSE 快速晶圆检测

光谱型参比椭偏仪概述

RSE是一种特殊类型的椭偏仪，它通过将参比样品和被测样品进行比较，测量它们之间的差异从而对被测样品进行椭偏分析。在测量过程中没有任何需要转动或者调制的光学部件，并且可以在单次测量中获得完整的、高分辨率的光谱椭偏数据。通常可每秒采集200个光谱数据。通过配备同步的XY二维自动样品台可以在数分钟内测量获得大面积样品的薄膜厚度分布图。

与传统的椭偏仪或反射仪相比，光谱型参比椭偏仪有什么优点？

• 光谱型参比椭偏仪将椭偏仪的高灵敏度与反射仪的测量速度相结合，甚至超过了它。

• 与激光椭偏仪相比，它包括450至900 nm之间的光谱信息。如果所处理的层的多个参数是可变的，例如厚度和光密度，这一点非常重要的。

• 从事实来说，参比法比绝 对法更敏感。因此，当聚焦非常薄的层时，RSE方法优于传统的椭偏法。与反射仪测量相比，高薄膜灵敏度的优势会体现地更加明显。

  
  

什么是椭偏仪？

椭偏技术是一种非常灵敏的光学方法，百年来一直被用于各种薄膜的光学分析测量。它的基本原理是：当一束偏振光经过样品表界面反射之后偏振状态会发生变化。如果样品表面是一层薄膜（或者多层薄膜堆叠），整个薄膜和基底的光学信息对反射光束的偏振状态都有影响。因此，通过椭偏方法可以对薄膜的厚度和其他性质进行分析。

光谱型参比椭偏仪是如何工作的？

RSE是一种特殊类型的椭偏仪，它通过将参考样品和被测样品进行比较，测量它们之间的差异从而对被测样品进行椭偏分析。在测量过程中没有任何需要转动或者调制的光学部件，并且可以在单次测量中获得完整的、高分辨率的光谱椭偏数据。通常可每秒采集200个光谱椭偏数据。通过配备同步的X/Y二维自动样品台可以在数分钟内测量获得大面积样品的薄膜厚度分布图。

由于参考补偿系统仍然是椭偏仪原理，因此需要将测量数据拟合到光学模型，以获得光学参数，如折射率和薄膜厚度。为了实现高速的数据处理速度，实现了查找表拟合。在测量之前，将计算一个查找表。然后可以实时且高分辨率地拟合测量数据。