Park NX-IR 纳米红外光谱系统

Park NX-IR R300

用于300mm半导体晶圆的
纳米级红外光谱显微镜系统

Park NX-IR R300 是一种纳米级红外光谱系统，适用于可达 300 mm的半导体晶圆。
它以全新的纳米级高分辨率为半导体研究、故障分析和缺陷表征提供了
化学特性信息以及机械和形貌数据。

PPark NX-IR R300 不仅将前沿的纳米级红外光谱技术与原子力显微镜相结合，
还将Molecular Vista 的光诱导力显微镜（PiFM)模块巧妙结合到行业引领的
Park NX20 300mm AFM平台上。

Park NX-IR R300 既是光谱学系统又是显微镜系统。
Park NX-IR R300 的光谱系统可提供10nm空间分辨率下的化学鉴定。
它采用非接触式技术，提供无损伤光谱扫描和行业超高空间分辨率。
Park NX-IR R300 的显微镜系统可提供亚埃级高精度的3D形貌和纳米级横向分辨率的材料成像。