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国仪量子场发射扫描档电镜SEM5000

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国仪量子场发射扫描档电镜SEM5000 核心参数
电子枪: 场发射 加速电压: 0.1 kV ~ 30 kV
放大倍数: 1 ~ 1,000,000 x 分辨率: 1 nm @ 15 kV 2.5 nm @ 1 kV
详细介绍

场发射扫描电子显微镜SEM5000

产品介绍

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SEM5000是一款分辨率高、功能丰富的场发射扫描电子显微镜。

先进的镜筒设计,高压隧道技术(SuperTunnel)、低像差无漏磁物镜设计,实现了低电压高分辨率成像,同时磁性样品可适用。光学导航、完善的自动功能、精心设计的人机交互,优化的操作和使用流程,无论经验是否丰富,都可以快速上手,完

成高分辨率拍摄任务。


电子枪类型      高亮度肖特基场发射电子枪

加速电压          0.1 kV ~ 30 kV

分辨率             1 nm @ 15 kV  2.5 nm @ 1 kV

样品台             五轴全自动样品台

放大倍率          1 ~ 1,000,000 x


产品特点


分辨率高,低加速电压下实现高分辨成像

高压隧道技术 (SuperTunnel), 在隧道中的电子能保持高能量,减少了空间电荷效应,低电压分辨率得到保证

电子光路无交叉,有效的降低系统像差,提升分辨能力

电磁复合物镜,减小像差,显著提高低电压下的分辨率,而且可观察磁性样品

水冷恒温物镜,保证物镜工作的稳定性、可靠性和可重复性

磁偏转六孔可调光阑,自动切换光阑孔,无需机械调节,实现高分辨率观察或大束流分析模式快速切换


应用领域

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规格参数

电子光学系统

分辨率                1.0 nm @ 15 kV

                          2.5 nm @ 1 kV

放大倍率            1 x ~ 1,000,000 x

加速电压            0.1 kV ~ 30 kV

电子枪类型         高亮度肖特基场发射电子枪

磁场屏蔽            被动式磁屏蔽

                          主动式磁屏蔽(选配)

成像系统

探测器                镜筒内高角度电子探测器(Inlens-SE Detector)

                          侧向二次电子探测器(ET Detector)

扩展                   背散射电子探测器(BSE Detector)

                          能谱仪(EDS)

                          背散射衍射(EBSD)

                          电子束感生电流(EBIC)

                          阴极荧光(CL)

图像保存格式      TIFF、JPG、BMP、PNG


样品室

真空控制方式      全自动控制,无油真空系统

摄像头                双摄像头

                           ( 光学导航 + 样品仓内监控 )

样品台配置          五轴全自动样品台

行程

                           X: 130 mm

                           Y: 105 mm

                           Z: 40 mm(大行程可选配)

                           R: 360°

                           T: -10°~ +90°

减震

                           主副减震支架

                           双气室隔膜式减震器

                           主动式减震器(选配)

软件

语言                    中文

操作系统              Windows

导航                    光学导航、手势快捷导航

自动功能             自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散



产品优势
SEM5000是一款分辨率高、功能丰富的场发射扫描电子显微镜。
先进的镜筒设计,高压隧道技术(SuperTunnel)、低像差无漏磁物镜设计,实现了低电压高分辨率成像,同时磁性样品可适用。光学导航、完善的自动功能、精心设计的人机交互,优化的操作和使用流程,无论经验是否丰富,都可以快速上手,完成高分辨率拍摄任务。
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