营业执照已审核
分享
收藏
SEM5000X是一款超高分辨率场发射扫描电镜，电子光学镜筒设计优化，综合像差降低了 30%，从而达到了0.6 nm@15 kv和 1.0 nm@1 kv的超高分辨率。超高分辨率和高稳定性，可在先进纳米结构和纳米材料的研究、高端芯片半导体的研发制造等领域发挥其性能优势。
| 关键参数 | 分辨率 | 0.6 nm @ 15 kV，SE |
| 1.0 nm @ 1 kV，SE | ||
| 加速电压 | 20 V ~ 35 kV | |
| 放大倍率 | 1 ~ 2,500,000 x | |
| 电子枪类型 | 肖特基场发射电子枪 | |
| 样品室 | 摄像头 | 双摄像头 （光学导航+样品仓内监控） |
| 样品台行程 | X=110 mm，Y=110 mm，Z=65 mm | |
T: -10°~+70°，R: 360° | ||
| 探测器和扩展 | 标配 | 镜筒内电子探测器（Inlens） |
| 仓室内电子探测器（ETD） | ||
| 选配 | 插入式背散射电子探测器（BSED) | |
| 插入式扫描透射探测器（STEM） | ||
| 低真空二次电子探测器（LVD） | ||
| 能谱仪（EDS） | ||
| 背散射衍射（EBSD） | ||
| 样品交换仓（4寸和8寸可选） | ||
| 轨迹球&旋钮板 | ||
| 双减速技术（Duo-Dec） | ||
| 软件 | 语言 | 中文 |
| 操作系统 | Windows | |
| 导航 | 光学导航、手势快捷导航，轨迹球（选配） | |
| 图像存储 | TIFF、JPG、PNG、BMP可选 | |
| 自动功能 | 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散 |
沪公网安备 31011502008050号