日立 EDS Quantax75 TM系列专用光谱仪
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场发射扫描电镜
SEM5000 PRO
SEM5000 PRO 是一款分辨率高、功能丰富的场发射扫描电子显微镜。
先进的镜筒设计，高压隧道技术（SuperTunnel）、低像差无漏磁物镜设计，实现了低电压高分辨率成像，同时磁性样品可适用。光学导航、完善的自动功能、精心设计的人机交互，优化的操作和使用流程，无论经验是否丰富，都可以快速上手，完成高分辨率拍摄任务。
产品特点
分辨率高，低加速电压下实现高分辨成像
电磁复合物镜，减小像差，显著提高低电压下的分辨率，而且可观察磁性样品
高压隧道技术(SuperTunnel) ，在隧道中的电子能保持高能量，减少了空间电荷效应，低电压分辨率得到保证
电子光路无交叉，有效的降低系统像差，提升分辨能力
水冷恒温物镜，保证物镜工作的稳定性、可靠性和可重复性
磁偏转六孔可调光阑，自动切换光阑孔，无需机械调节，实现高分辨率观察或大束流分析模式快速切换
产品参数
| 关键参数 | 分辨率 | 0.7 nm @ 15 kV，SE 1.1 nm @ 1.0 kV，SE 0.7 nm @ 35 kV STEM |
| 加速电压 | 20 V ～ 30 kV （可升级35kV） | |
| 放大倍率 | 1 ～ 2,500,000 x | |
| 电子枪类型 | 肖特基场发射电子枪 | |
| 样品室 | 摄像头 | 双摄像头 （光学导航+样品仓内监控） |
样品台行程 | X: 110 mm，Y: 110 mm，Z: 65 mm | |
| 探测器和扩展 | 标配 | 镜筒内电子探测器：Inlens 仓室内电子探测器：ETD |
| 选配 | 插入式背散射电子探测器（BSED） 低真空二次电子探测器（LVD） 背散射衍射（EBSD） 样品交换仓（4 寸 /8 寸） 轨迹球&旋钮板 | |
| 软件 | 语言 | 中文SEM软件 |
| 操作系统 | Windows | |
| 导航 | 光学导航、手势快捷导航、轨迹球（选配） | |
| 自动功能 | 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散 |
上传人：上海睿测电子科技有限公司
大小：11.24 MB
430
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