场发射扫描电镜-国仪量子场发射扫描电镜 SEM5000Pro

场发射扫描电镜
SEM5000Pro

SEM5000Pro是低电压高分辨的热场发射扫描电镜，使用了高压隧道技术（Super-Tunnel）、无交叉电子光路、静电电磁复合物镜设计，减少了空间电荷效应，降低系统像差，实现了 1.2 nm@1 kV 的分辨能力。低压下的成像分辨能力提升，可对不导电样品或半导体样品进行直接观察，有效降低了样品辐照损伤。

丰富的扩展能力

产品特点

01 分辨率高，低加速电压下实现高分辨成像

02 电磁复合物镜，减小像差，显著提高低电压下的分辨率，而且可观察磁性样品

03高压隧道技术(SuperTunnel) ，在隧道中的电子能保持高能量，减少了空间电荷效应，低电压分辨率得到保证

04电子光路无交叉，有效的降低系统像差，提升分辨能力

05水冷恒温物镜，保证物镜工作的稳定性、可靠性和可重复性

06磁偏转六孔可调光阑，自动切换光阑孔，无需机械调节，实现高分辨率观察或大束流分析模式快速切换

应用领域

应用案例

 玻璃基底片 /3kV/ETD

 催化剂 /5kV/Inlens

 磁性粉末 /10 kV/Inlens

 氮化硼纳米片 /3kV/ETD

 三元正极前驱体 /3kV/Inlens

 高熵合金粉末 /10kV/BSED

 金属铜粉 /3kV/Inlens

 陶瓷截面 /3kV/Inlens

 钴酸锂 /3kV/Inlens

 纳米花 /1kV/Inlens

 植物切片 /30kV/STEM-BF

 植物切片 /30kV/STEM-DF

 植物切片 /30kV/STEM-HAADF

 勃姆石 /5kV/BSED

 钢铁夹杂物 /15kV/BSED

 钢铁夹杂物 /15kV/Inlens

产品参数

关键参数	分辨率	0.8 nm @ 15 kV，SE 0.7 nm @ 15 kV ,  (减速模式）  1.2 nm @ 1.0 kV，SE 0.7 nm @  35 kV STEM
	加速电压	20 V ～ 30 kV （可升级35kV）
	放大倍率	1 ～ 2,500,000 x
	电子枪类型	肖特基场发射电子枪
样品室	摄像头	双摄像头 （光学导航+样品仓内监控）
	样品台行程	X: 110 mm，Y: 110 mm，Z: 50 mm T: -10°～ +90°（加预倾角）, R: 360°
探测器和扩展	标配	镜筒内电子探测器：Inlens 仓室内电子探测器：ETD
	选配	插入式背散射电子探测器（BSED）（五分割，可选配） 插入式扫描透射探测器(STEM) 低真空二次电子探测器（LVD） 能谱仪（EDS） 背散射衍射（EBSD） 样品交换仓（4 寸 /8 寸） 轨迹球&旋钮板
软件	语言	中文SEM软件
	操作系统	Windows
	导航	光学导航、手势快捷导航、轨迹球（选配）
	自动功能	自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散