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扫描电子显微镜-量子场发射扫描电子显微镜 SEM4000Pro

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产品特点

SEM4000Pro是一款分析型热场发射扫描电子显微镜,配备了高亮度、长寿命的肖特基场发射电子枪。三级磁透镜设计,束流max可达200 nA,在EDS、EBSD、WDS等应用上具有明显优势

详细介绍


场发射扫描电子显微镜
SEM4000Pro

SEM4000Pro是一款分析型热场发射扫描电子显微镜,配备了高亮度、长寿命的肖特基场发射电子枪。三级磁透镜设计,束流max可达200 nA,在EDS、EBSD、WDS等应用上具有明显优势。标配低真空模式,以及高性能的低真空二次电子探测器和插入式背散射电子探测器,可观察导电性弱或不导电样品。标配的光学导航模式,以及直观的操作界面,让您的分析工作倍感轻松。

突破性的分辨能力
机械中心样品台
低真空模式
*快速换样仓
(最大8寸)
三级磁透镜设计

丰富的扩展能力


产品优势

01配备高亮度、长寿命的肖特基热场发射电子枪
02分辨率高,30 kV 下优于 0.9 nm 的极限分辨率
03三级磁透镜设计,束流可调范围大,最大支持 200 nA 的分析束流
04无漏磁物镜设计,可直接观察磁性样品
05标配低真空模式,以及高性能的低真空二次电子探测器和插入式背散射电子探测器
06标配的光学导航模式,中文操作软件,让分析工作更轻松


应用案例

水菜花花粉/低真空70 Pa/10 kV/LVD
陶瓷/10 kV/ETD
金属断口/15 kV/ETD
PA-玻纤复合材料/10 kV/BSED
芯片/5 kV/ETD
银浆/1 kV/ ETD


产品参数

关键参数分辨率0.9 nm @ 30 kV,SE
2.5 nm @ 30 kV,BSE,30 Pa
1.5 nm @ 30 kV, SE, 30 Pa
加速电压200 V ~ 30 kV(35kV可选)
放大倍率1 ~ 1,000,000 x
电子枪类型肖特基场发射电子枪
样品室低真空模式最大180 Pa
摄像头双摄像头
(光学导航+样品仓内监控)
行程X=110 mm,Y=110 mm,Z=65 mm
T: -10°~+70°,R: 360°
探测器和扩展标配仓室内电子探测器(ETD)
低真空二次电子探测器(LVD)
插入式背散射电子探测器(BSED 五分割,可选配)
选配能谱仪(EDS)
背散射衍射(EBSD)
插入式扫描透射探测器(STEM)
样品交换仓(4 寸 /8 寸)
轨迹球&旋钮板
软件语言中文SEM软件
操作系统Windows
导航光学导航、手势快捷导航、轨迹球(选配)
自动功能自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散


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