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扫描电子显微镜-量子高速扫描电子显微镜 HEM6000

面议 (具体成交价以合同协议为准)
国仪量子 HEM6000 安徽 合肥 2025-12-19 03:27:52
售全国 入驻:10年 等级:金牌 营业执照已审核
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产品特点:

HEM6000是一款可实现跨尺度大规模样品成像的高速扫描电子显微镜。

产品详情:

高速扫描电子显微镜
HEM6000

HEM6000是一款可实现跨尺度大规模样品成像的高速扫描电子显微镜。
采用高亮度大束流电子枪、高速电子偏转系统、高压样品台减速、动态光轴、浸没式电磁复合物镜等技术,实现了超快的数据采集和成像速度,同时保证了纳米级分辨率。
面向应用场景的自动化操作流程设计,使得大面积的高分辨率图像采集工作更高效、更智能。成像速度可达常规场发射扫描电镜的5倍以上。


图像采集速度
10 ns/pixel,2*100 M pixel/s
加速电压
100 V~6 kV(减速模式) ; 6 kV~30 kV(非减速模式)
分辨率
1.3nm@3kV,SE;1.5nm@1kV,SE,0.9nm@30kV,STEM
视场大小
最 大视场1*1 mm²,高分辨微畸变视场64*64 um²
样品台精度
重复定位精度:X ±0.6 um;Y ±0.3 um


高速扫描驱动器

驻点时间10 ns/pixel,

最快采集速度2*100 M pixel/s

电子过滤系统

SE/BSE信号自由切换,

信号混合比例可调

全静电高速偏转系统

可实现高分辨大场模式,

4 nm像素点最 大视场达64*64 um²

样品台减速技术

降低入射电子落点电压,

同时提高回收电子的收集效率

浸没式电磁复合物镜

物镜磁场浸没样品

实现了低像差高分辨率


产品优势
高速自动化
全自动上下样流程和采图作业,综合成像速度优于常规场发射扫描电镜的 5 倍
大场低畸变
跟随扫描场动态变化的光轴,实现了更低的场边缘畸变
低压高分辨
样品台减速技术,实现低落点电压,同时保证高分辨率


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产品参数

关键参数分辨率1.3nm@3 kV,SE ; 1.5nm@1 kV,SE
1.9nm@ 3 kV, BSE; 2.3nm@ 1 kV, BSE
0.9nm@30kV,STEM
加速电压100 V~6 kV(减速模式)
6 kV~30 kV(非减速模式)
放大倍率66~1,000,000x
电子枪类型高亮度肖特基场发射电子枪
物镜类型浸没式电磁复合物镜
偏转系统静电偏转器
样品装载系统真空系统全自动控制,无油真空系统
样品监控样品仓监控水平摄像头; 换样仓监控垂直摄像头
样品最 大尺寸直径4英寸
样品台类型电机驱动3轴样品台(*可选配压电驱动样品台)
行程

X、Y轴:110mm;

Z轴:16mm;

重复定位精度

X轴:±0.6μm;

Y轴:±0.3μm;

换样方式全自动控制
换样时间<15 min
换样仓清洗全自动控制等离子清洗系统
图像采集与处理驻点时间10 ns/pixel
图像采集速度2*100 M pixel/s
图像大小24K*24K
探测器和扩展标配镜筒内混合电子探测器
选配低角度背散射电子探测器
镜筒内高角度背散射电子探测器

明场透射电子探测器

高角/中角/底角暗场透射电子探测器
压电驱动样品台
高分辨大场模式
样品仓等离子清洗系统
6英寸样品装载系统
主动减震台
AI降噪;大图拼接;三维重构
软件语言中文
操作系统Windows
导航光学导航、手势快捷导航
自动功能自动样品识别、自动选区拍摄、自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散


  • 热点应用
  • 仪器仪表

应用方案

  • 扫描电镜在金属材料失效分析领域的应用
    金属材料是指具有光泽、延展性、容易导电、传热等性质的材料。一般分为黑色金属和有色金属两种。黑色金属包括铁、铬、锰等[1]。其中钢铁是基本的结构材料,称为“工业的骨骼”。
    2025-03-26
  • 扫描电镜在金属材料失效分析领域的应用
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