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国仪量子钨灯丝扫描电镜

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国仪量子钨灯丝扫描电镜 核心参数
电子枪: 钨灯丝
详细介绍


扫描电子显微镜
SEM3100


SEM3100具有出色的成像质量和丰富的扩展性,将钨灯丝扫描电子显微镜的可用性、易用性发挥到max。分辨率可达3 nm,超大样品仓,可容纳max直径为370 mm的样品,以及诸多细节功能设计和特色功能,助您在显微成像的世界中尽情探索。

高性能高指标

SEM3100是一款高性能的扫描电子显微镜,拥有超高的分辨率和出色的成像质量。放大倍率连续可调,在不同的视场范围下均可得到高亮度的清晰图像。大景深,成像富有立体感。配备的超大样品仓和低电压模式,极大地扩展了SEM3100的应用范围。

分辨率

3 nm @ 30kV, SE

放大倍率

1 x~300,000 x

图像保存

最大像素,6144 x 4096

加速电压

1 kV ~ 30 kV

最大样品尺寸

直径370 mm,高73 mm

出色的成像效果

锡球

锡球

乙酰柠檬酸三乙酯

乙酰柠檬酸三乙酯

钴酸锂

钴酸锂

低电压

毛发,加速电压3 kV

毛发,加速电压3 kV

涤纶表面,加速电压1 kV

涤纶表面,加速电压1 kV

纤维管表面缺陷,加速电压1 kV

纤维管表面缺陷,加速电压1 kV

大视场、大景深、超大样品仓

超大样品仓

超大样品仓

螺丝钉

螺丝钉

丰富的扩展性

扫描电子显微镜不只用于表面形貌的观察,还可以进行样品表面的微区成分分析。SEM3100拥有超大的样品仓,接口丰富,除支持常规的二次电子探测器(ETD)、背散射电子探测器(BSED)、能谱仪(EDS)外,也预留了诸多接口,诸如电子背散射衍射(EBSD)、波谱仪(WDS)、阴极荧光(CL)等探测器都可以在SEM3100上进行集成。

背散射探测器

二次电子成像和背散射成像对比。背散射像下,样品的荷电效应明显减弱,并且具有很好的成分衬度,适合进行成分观察。

能谱分析

水泥建筑材料SE和EDS分析结果,加速电压15 kV
*微量Au元素为喷金后的镀层

特色功能,更高的效率和更好的性能

光学导航
光学导航

SEM3100标配的仓内摄像头可拍摄高清样品台照片,助您快速定位样品。

旋钮控制板和鼠标手势
旋钮控制板和鼠标手势

可通过旋钮控制板或鼠标滚轮/手势快速调节聚焦和像散等参数,极大地提高成像效率。

动态像散动态图
动态像散结果图
动态像散

直观反映像散程度,通过鼠标点击即可快速调节像散至最佳。

电平移动态图
电平移-结果图结果图
快速调节图像旋转

拖动一条线,图像立刻“摆正角度”。

细节设计,追求最佳的易用性

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人性化的软件设计

所有控制功能集成在一个软件界面上,纯中文的操作界面,功能设计简单易懂。无论是否有经验的用户,简单的了解后都可以快速上手。

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30分钟自动休眠

30分钟无操作,SEM3100会自动进入休眠模式,停止扫描并将电子束关闭,减少灯丝损耗,延长使用寿命。

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换样方便

拉开式仓门,给换样操作留出宽阔的空间。也为仓内清洁维护提供了方便。

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面板功能按钮

机身正面设计的启动和放气按钮组合可快速换样,拍样完成后按下待机按钮可一键待机!

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优中心样品台和真空电机

支持优中心倾斜①样品始终处于电子束下方,不同倾斜角度下,可获取更丰富的形貌和成分信息。同时仓内真空电机②简化了传动结构,减少了真空漏气可能性。

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灯丝状态自动监测

自动检测灯丝使用时间,以及灯丝工作状态。让您测样和实验安排“心中有数”。

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防碰撞技术

采取多维度的防碰撞方案:1. 手动输入样品高度,精准控制样品与物镜下端距离,防止发生碰撞;2. 基于图像识别和动态捕捉技术,运动过程中对仓内的实时画面进行监测;3. 样品台硬件防碰撞,可在碰撞一瞬间停止电机,减少碰撞损伤。

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三级减震

创新性的三级减震设计,可较好的过滤来自地面传来的低频震动。同时,通过良好的工程设计,大幅减少了SEM3100自身运行产生的震动。

备注:
1、仅选配的五轴样品台支持; 2、标配真空电机。

SEM3100应用案例

电极箔截面

电极箔截面

三元正极

三元正极

钴酸锂

钴酸锂

掺铝四钴

掺铝四钴

钛金属

钛金属

硅碳负极材料

硅碳负极材料

聚偏氟乙烯1

聚偏氟乙烯1

聚偏氟乙烯2

聚偏氟乙烯2

微流控芯片1

微流控芯片1

微流控芯片2

微流控芯片2

氧化铝

氧化铝

多孔氮化硼陶瓷

多孔氮化硼陶瓷

泡沫镍基底

泡沫镍基底

表面氢氧化物附着

表面氢氧化物附着

滤纸

滤纸

碳材料

碳材料

聚苯乙烯微球

聚苯乙烯微球

纤维素管截面

纤维素管截面

微型探针表面

微型探针表面

纺丝

纺丝

参数

电子光学系统
分辨率
3 nm @ 30 kV
放大倍率
1 x~300,000 x
加速电压
1 kV~30 kV
电子枪类型
预对中型发叉式钨灯丝电子枪
成像系统
探测器(标配)
二次电子探测器 (ETD)
探测器(选配)
背散射电子探测器、能谱仪EDS等
图像尺寸
≤ 6144 x 4096 像素
图像保存格式
TIFF、JPG、BMP、PNG
样品室
控制方式
全自动阀
涡轮分子泵
240 L/S
机械泵
12 m³/h(50 Hz)
摄像头
光学导航
样品仓内监控
样品室真空度
高真空下优于9 X 10-4 Pa
样品台配置
三轴自动(标配)
五轴自动(选配)
行程
X: 100 mm
X: 115 mm
Y: 100 mm
Y: 115 mm
Z: 60 mm
Z: 65 mm
/
R: -180°~ +180°
/
T: -10°~ +75°
最大样品尺寸
直径:370 mm, 高:68 mm
直径:370 mm, 高:73 mm
软件
语言
中文
操作系统
Windows
导航
光学导航,手势快捷导航
自动功能
自动亮度对比度,自动聚焦
特色功能
动态像散
安装要求
房间
长 ≥ 3000 mm,宽 ≥ 4000 mm,高 ≥ 2300 mm
门宽
宽 ≥ 900 mm,高 ≥ 2000 mm
温度
20 ~ 25 ℃
湿度
≤ 50%
噪声
≤ 45dB
电气参数
电源AC 220 V(±10 %),50 Hz,2 kVA
地线
独立地线一条,小于4 Ω
交流磁场
< 100 nT


  •   扫描电镜的制造依据是电子与物质的相互作用。扫描电镜从原理上讲就是利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描

  •   扫描电镜是一种超高速、高分辨、全自动、快速成像、场发射电子显微分析设备,在IT行业计算机、半导体、互联网

  •   场发射扫描电镜由电子枪发射电子束,经过一组磁透镜聚焦聚焦后,用遮蔽孔径选择电子束的尺寸后,通过一组控制电

  •   扫描电镜(SEM)是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段,可直接利用样品表面材料的物质性能

  •   扫描电镜是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段,可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成

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  •   无论是透射电镜或是扫描电镜,样品均处于电镜镜筒的真空之中。而大多数的生物样品都是柔软而且含大量水分的。因

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