日立 SU9000 冷场发射扫描电子显微镜 SEM

SU9000场发射扫描电子显微镜在30kV下，二次电子分辨率可达0.4nm，在1kV下为1.2nm，适合观察纳米级别的样品。样品位于物镜极靴的上下间隙中，确保最佳的成像质量和稳定性。配备2+2探测系统，支持表面、成分和透射观察，在低电压下（如1kV）仍能保持高分辨率，适合观察电子束敏感样品。

• 特点：
  新型电子光学系统设计达到扫描电镜世界zei高分辨率：

  二次电子0.4nm（30KV），STEM 0.34nm（30KV）。
  设计的E×B系统，可以自由控制SE和BSE检测信号。
  全新真空技术设计使得SU9000冷场发射电子束具有超稳定和高亮度特点。
  全新物镜设计显著提高低加速电压条件下的图像分辨率。
  STEM的明场像能够调整信号检测角度，明场像、暗场像和二次电子图像可以同时显示并拍摄照片。
  与FIB兼容的侧插样品杆提高更换样品效率和高倍率图像观察效率。

  专门为电子束敏感样品和需zei大300万倍稳定观察的先进半导体器件，高分辨成像所设计。

科研实验应用：

1、材料科学：用于金属、陶瓷和聚合物等材料的微观结构分析；

2、半导体研究：观察半导体器件的表面形貌和故障分析；

3、生物医学：用于生物样品的形貌观察和成分分析；

4、纳米技术：分析纳米材料的形态和组成；

5、催化剂研究：研究催化剂的微观结构和性能。