日立 Regulus 冷场发射扫描电子显微镜SEM

日立 Regulus 冷场发射扫描电子显微镜是一系列高性能的电子显微镜，由原 SU8200 系列衍生而来，包括 Regulus 8100、Regulus 8220、Regulus 8230、Regulus 8240 等型号。

• 分辨率：Regulus 8240/8230/8220 在 1kV 条件下分辨率为 0.7nm，15kV 条件下分辨率为 0.6nm；Regulus 8100 在 1kV 条件下分辨率为 0.8nm，15kV 条件下分辨率为 0.7nm。

• 加速电压：Regulus 8240/8230/8220 的着陆电压范围为 0.01-20kV，Regulus 8100 的着陆电压范围为 0.1-2kV。

• 放大倍率：放大倍率可达 200 万倍，能满足高分辨率观察需求。

• 电子枪：沿用 SU8200 系列的冷场发射电子枪，采用电子束在 Flashing 后出现的高亮度稳定区域作为稳定观察的区间，使得低加速电压条件下兼备高分辨观察和分析的性能。

• 样品台：Regulus 8240/8230 的 X 轴移动范围为 0-110mm，Y 轴移动范围分别为 0-110mm 和 0-80mm；Regulus 8100/8220 的 X/Y 轴移动范围均为 0-50mm，Z 轴移动范围在 1.5-40mm 之间，倾斜角度为 - 5°-70°，旋转角度为 360°。

• 功能特点：采用污染小、高真空样品仓，可减少样品污染；可配备能量过滤器，能观察到多种成分对比度；具备极低着陆电压下高分辨观察能力，可对敏感样品进行无损观察。