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发射扫描电子显微镜 ReguluS
- 品牌：日立
- 型号： ReguluS
- 产地：亚洲 日本
- 供应商报价：面议
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似空科学仪器（上海）有限公司
更新时间：2025-04-25 20:23:31 -
销售范围售全国
入驻年限第8年
营业执照已审核
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产品特点
- 发射扫描电子显微镜ReguluS
详细介绍
现有机型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合，衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。
"Regulus系列"继承了现有机型的观察和分析性能，配备SU8200系列的低噪音冷场发射电子枪*1，可以获得高稳定的束流。
通过优化电子光学系统，Regulus8240/8230/8220在1 kV条件下分辨率提高到0.9 nm，Regulus8100的分辨率提高到1.1 nm，观察性能与现有机型相比提高了20％左右。
此外，为充分发挥超高分辨的能力，放大倍率也从过去的100万倍提升到200万倍*1。
Regulus8240/8230/8220/8100还完善了用户支持功能，通过此功能用户更容易理解各种复杂信号的检测原理，帮助用户充分发挥仪器的**性能。*1
Regulus8240/8230/8220
特色沿用"SU8200系列"的冷场发射电子枪*2
采用电子束在Flashing后出现的高亮度稳定区域作为稳定观察的区间，使得低加速电压条件下兼备高分辨观察和分析的**性能
与现有机型相比分辨率提高了20％左右
(Regulus8240/8230/8220: 0.9 nm/1 kV、Regulus8100: 1.1 nm/1 kV)采用污染小、高真空样品仓
运用能量过滤器(选配)，可观察到多种成分对比度*2
极低着陆电压下高分辨观察
样品：金颗粒
着陆电压：10 V超高分辨观察
样品：Pt催化剂
加速电压：30 kV低加速电压下高分辨EDX分析
样品：Sn球
着陆电压：1.5 kV*2
Regulus8240/8230/8220
规格项目 Regulus 8100 Regulus 8220 Regulus 8230 Regulus 8240 二次电子分辨率 0.8 nm
（加速电压15 kV）
1.1 nm
（着陆电压1 kV）*30.7 nm（加速电压 15 kV）
0.9 nm（着陆电压 1 kV）*3着陆电压 0.1～2 kV 0.01～20 kV 放大倍率 20～1,000,000倍*4 20～2,000,000倍*4 样品台 样品台控制 3轴马达台（可选5轴马达台） 5轴马达驱动 移动范围 X 0～50 mm 0～50 mm 0～110 mm 0～110 mm Y 0～50 mm 0～50 mm 0～110 mm 0～80 mm R 360° T -5～70° Z 1.5～30 mm 1.5～40 mm 再现性 - - - ±0.5 µm以下含±0.5 µm *3
减速模式下观察
*4
以127 mm × 95 mm底片为基准的倍率
沪公网安备 31011502008050号