热场发射扫描电子显微镜

JSM-7001F热场发射扫描电子显微镜（Thermal Field Emission SEM），是能够满足与高分辨率和易用性同样的分析应用需求的理想平台。JSM-7001F具有大型、5轴、全对中马达驱动自动化样品台,还有单动作样品更换气锁、它的小束口压直径，即使在大电流和低电压时，也具有适用于EDS、WDS、EBSP和CL的理想结构的扩充性。样品室可处理直径最大为 200mm的样品。
计算机接口是新的Windows XP系统，操作简单，具有快速简单地切换操作模式的功能键。最多可同时查看包括混合信号的四幅实时图像，单次扫描就可以记录并马上存储全部的四幅图像。
JSM-7001F扫描电子显微镜还支持与EDS、WDS、电子束光刻系统和图像数据库的整体化。标准的样品台自动化由计算机控制5轴：X、Y、Z、倾斜和对中自转。

技术参数：
分辨率: 3 nm（1 kV），1.2 nm（30 kV）
放大倍数: 10 到 1,000,000x
加速电压: 0.5kv 到 30 kV
束流: 1 pA 到 200 nA
大束流分辨率：3.0nm(5nA、15kv、WD10mm)
检测器：二次电子检测器
光阑角控制镜: 内置
柔和光束: 内置
数字图像: 1,280 x 960，2,560 x 1，920, 5,120 x 3,840
样品交换室: 单步加载/卸载
样品台: 全对中，5轴马达驱动
X-Y: 70 mm x 50 mm、z：3-41mm
倾斜: -5 到 +70°
旋转: 360°
工作距离: 1.5 mm 到 25 mm
真空系统: 2 SIPs，2DP、RP